多孔矽多层结构应用于光学式生化感测器之研制-etop-工程科技推展.pdfVIP

行 精 類 行 年年 行 參理林 理 理 理 利 年 年 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 多孔矽多層結構應用於光學式生化感測器之研製 計畫類別 ：個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號 ：NSC-97-2221-E-218-051 執行期間 ：97 年 8 月 1 日至 98 年 7 月 31 日 計畫主持人 ：吳坤憲 南台科技大學 光電工程系副教授 共同主持人： 計畫參與人員 ：林哲緯 南台科技大學 光電工程系研究生 黃琛壹 南台科技大學 光電工程系研究生 趙旋凱 南台科技大學 光電工程系研究生 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交) ：精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件 ： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式 ：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫 、列管 計畫及下列情形者外 ，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年二年後可公開查詢 執行單位 ：南 台 科 技 大 學 中 華 民 國 98 年 10 月 15 日 1 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 多孔矽多層結構應用於光學式生化感測器之研製 計畫編號 ：NSC-97-2221-E-218-051 （一）計畫中文摘要 關鍵詞：多孔矽、多層結構、孔隙率 、光學式化學感測器 由於具有許多特殊的光學、電子、熱與化學性質，具量子尺寸結構的多孔矽(porous silicon)是一種多功能(multi-functional) 的材料、它多樣化的功能已經被應用在許多新型 微電子元件的設計與製造中，其中以利用多孔矽之可調變的光電與光學特性來開發先進 新穎的光電元件最為熱門與廣泛。多孔矽除了在光電元件的應用外，由於其電性、化學 以及物理特性對於外在環境的變量具有高度的靈敏性(sensitivity) ，因此也成為發展感測 器與致動器(sensors and actuators) 的重要材料，其應用包括微機電系統(MEMS) ，氣體感 測器(gas sensor)及生物感測器(bio-sensor) 。根據許多相關研究指出 ，多孔矽是一個具有 很大表面積的材料，對於化學分子的吸附效率甚佳，所以多孔矽化學感測器具有優於傳 統單晶矽化學感測器的操作性能。 實驗中吾人以一種週期性調變電流的陽極化電化學蝕刻技術在矽基板上形成多層 多孔矽層的結構，製程中吾人以相同氫氟酸溶液的濃度藉由週期性調變電流來形成高孔 隙率/低孔隙率的多孔矽多層結構 ，這是製作低反射係數之內部布拉格反射器的主要關 鍵因素。吾人以冷場發射式掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)來觀察多孔矽層的微結構。為 了驗證多孔矽多層結構應用於化學感測器的光學特性，吾人分別以甲醇、乙醇、丙酮三 種不同的化學溶劑吸附在多孔矽層的表面，其後以“吸收光譜儀量測系統”來測量元件對 不同化學溶劑之光反射率，在元件對不同化學溶劑的光響應方面，我們在元件