第9章功能薄膜材料.pptVIP

材料方面，宽能隙p型α-Si窗口材料已获得广泛应用，为进一步提高太阳能电池的效率，正在开发新的p型层材料。超晶格材料以及微晶材料。氟系α-SiGe的开发。 电池结构方面为多层结构。 日本：新阳光计划；美国：Solar2000计划；欧盟：Sahel计划 2、光热变换薄膜材料 实际应用有太阳能房和太阳能热水器。 光选择特性膜，考虑因素：①利用材料的固有特性；②设计多层干涉膜；③利用几何学的微细结构表面等。 In2o3(Sn)/Py-硼硅酸玻璃基板，可见光透射率75-85%，红外光反射率80-85% Sno2 (Sb) ，可见光透射率80%，红外光反射率70-75% 3、热电变换薄膜材料 热电现象半导体材料比金属明显。热电发电材料中，依其工作湿区分为：低温用（500K，Bi2Te3,ZnSb）、中温用（500-900K,PbTe）、高温用（900K,CrSi2,FeSi2 ，CoSi） 主要物质有硫属化合物系材料、过渡金属硅化物（Fe-Six系材料，硅锗系材料、硼系材料及非晶态材料等） Z=α2/κρ 4、热电子发身薄膜材料 处于高温的金属或某些金属化合物，可发射热电子。常作为热发射灯丝而应用的电子源。 Richardson-Dushmann公式 举例：X-B（X=Cr,Ta,Y,Ca,Sr,Ce） 5、固体电解质薄膜材料 固体电解质是固体离子的传导体，对特定的离子选择性地显示出大的传导性。这类材料常温下的电导率大致为10-5~10-1S·cm-1 β-Al2O3是人们所熟知的钠离子传导体。氧离子传导体，二氧化锆 燃料电池是将化学能直接变换为电能的电化学装置，它从外部向正极提供O2或空气等，而向负极提供乙醇、碳水化合物等，通过电化学反应不断从负极向正极输送电子流。 6、超导薄膜器件 举例：钙钛矿系氧化物超导体薄膜及大型单晶 Bi2Sr2Cuo6-,Tl2Ba2CuO6-δ Yt系（LnBa2Cu3O7-Y2Ba4Cu8O16-） 四、传感器 所谓传感器，是指可接受外界信息 （刺激），如光、热、磁、压力、加速 度、湿度、环境气氛等，并能在体系内 变换为可处理信号的器件。 主要种类：工业类用传感器和生物医学用传感器 环境友好型 工业用传感器分： ①生产技术用（工业生产所必需的环境、气 氛条件的监视、控制等）； ②生活保证用（工业生产中生活环境、气氛 条件的监视、控制等） 生物医学用传感器： ①医疗活动及医疗生活的支援； ②为保证及维持上述所需的环境、气氛等应 进行的监视、控制等 在材料科学领域需要开发三种材料： ①舒适材料； ②前沿环境材料 ③环境协调材料 举例：热释电型红外线传感器，利用随温度变化材料表面产生电荷的现象（热释电效应），由红外线能量转变为热能，并以电荷（输出电压）的方式检出。可广泛用于非接触式温度计进行流动人群体温测量，检测人及动物的位置、动作及活动等 常用材料： LiTaO3、Pb1-xZrxTi1-x/4O3(PZT)·PbTiO3·Pb1-xLaxTi1-x/4O3(PLT) 五、集成光学器件 1、集成光波导和光学器件 集成光学器件中用来传输光信号的基本元件是光波导，其基本形式由衬底、光的传输层以及反射层三层结构所组成。 薄膜材料的定义 当固体或液体的一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度时 薄 膜 固体薄膜 液体薄膜 厚膜(1u) 薄膜 (1u) 纳米薄膜 本课程关注的仅是沉积在固体表面上的固态陶瓷薄膜 薄膜材料 薄膜材料在现代科学技术中应用十分广泛，制备薄膜材料的技术发展也十分迅速。 制膜的方法----分为物理和化学两大类 具体方式上，又分干法，湿法和喷涂，而每种方式又可分为多种方法。 薄膜材料的分类（按材质分） 1.金属薄膜材料（结构性，功能性） 2.无机、陶瓷薄膜材料（结构性，功能性） 3.有机、聚合物薄膜材料 4.半导体薄膜材料 薄膜材料的分类（按功能分） 力功能薄膜材料 (超硬薄膜材料 超润滑薄膜材料) 磁功能薄膜材料 (高透磁率薄膜材料 巨磁阻薄膜材料) 光功能薄膜材料 (红外反射薄膜材料 隐身薄膜材料) 电功能薄膜材料 (超导薄膜材料) 薄膜材料的应用 一、表面改性 二、耐磨及表面防护涂层 三