传感技术引人注目的新兴分支——声表面波技术.pdfVIP

科技前沿与学术评论 传感技市引人注目的觚舟分支 声表面波技市 教授、博导施文康 (上海交通大学电子信息学院， 上海200030) 摘要：本文简要地叙述了传感器与传感技术的重要性和发展现状。指出微传感器是当夸世界的发 展潮流。声表面波传感嚣是微型物性型传感器的一个分支。由于它所特具的众多优点和广泛的应 用前景，引起了世界各发达国家科技界、产业界的极大兴趣，成为近十年来研究的热点之一。本文 着重叙述了声表面波传感器的主要特点以及它在各个领域中已经和可以预见的应用，从而可看出 它将在信息产业中所起的重要作用。 关键词：表面波传感器微传感器发展趋势 ANewReI衄rkableBranchof Se璐or Technology ——theSurfaceAco璐ticWaVe Tecllnolo留 n。o触∞rSⅢW即J【ang 0f Elec打oIlichlfon衄60n (蜘1 of鼬咖IghaiJiao咖【lg 2㈣) I『nive商ty，鲫删mghai d删玮．砒细缸咖幽哗删础枞溉删，址颤删咖删涮l肋“p叫龟钻汛一 me曲小田nc蠡e瘟￡如n，d g栅眈e唧母“础戗棚7q如hⅣm吖血驰，曲e，咖阳，如加印n∞∞讥蜘m以出m 础y矗d即如n踮m州． Keywords：s叫妇删拓Ⅲw，m伽一∞mr，删 经济的各个部门，进入到大众生活的各个方面。可见，应用、 1传感器与传感器技术概况 研究和发展传感器和传感技术是信息时代的必然趋势。 传感器作为现代信息技术的源头，得到国内外科技界、 传感器技术的发展水平是衡量一个国家综合实力的标 产业界普遍的认同和重视。无论从宇宙探索、海洋开发、环 志之一，也是判断一个国家科学技术现代化程度与生产水平 境保护、灾情预报，还是从国防建设、工农业生产到人民群众 高低的重要依据。正是由于世界各国政府的高度重视，目前 的日常生活，作为感知、采集、转换、传输和处理各种信息必 世界的传感器行业发展很快，每年传感器的专利、产量和产 不可少的传感器已渗人新技术革命的所有领域，涉及到国民 值都很可观。在信息产业中起着关键作用。 12 世界科技研究与发展 科技前沿与学术评论 近几年来传感器领域的一个显著特点是对微型物性型 (3)气敏、湿墩传感嚣 传感器的研究迅速升温，这可理解为对微传感器长期落后于 声表面渡的传播对外界环境是很敏感的。因此对声表 徽电子技术、计算机技术的发展所形成的比例失调而采取的 面波器件的选材、设计和制造以及密封防护等措施都要经过 “朴教”行动；也可理解为市场经济、价值规律运行的必然结 仔细考虑。正因为如此，人们有意地将一些气敏材料(如 果。作为21世纪普遍看好的微机械技术，目前它研究领域 s吣zr．o)涂覆于声表面波传播路径的表面上。由于气敏材 的90％以上被微传感器所占有。 料对个别气体有选择的吸附特性改变了声表面波的传播特