微晶硅薄膜的制备及结构和稳定性研究!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (’ . ##( . ， ， ， NU9 )(’ HU ) . 4C?CYV ##( （ ） %###6*#F##(F(’ #. F*%#6#( 4MI4 E/[KGM4 KGHGM4 !##( M=8 ) E=\Y ) KU+ ) 微晶硅薄膜的制备及结构和稳定性研究! ! 张晓丹 赵 颖 高艳涛 朱 锋 魏长春 孙 建 耿新华 熊绍珍 （南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，天津 ###$%） （南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室，天津 ###$%