铝箔微孔的飞秒激光加工艺的研究.pdf

敷光与 电子学进展 LaserOptoelectronicsProgress ~2010中国激光杂志社 doi：10．3788／lop47．051403 铝箔微孔的飞秒激光加工艺的研究 汪 刚 杨洗陈2 梁 铭 傅宁霞 (广东纺织职业技术学院，广东 佛山 528041； 天津工业大学激光技术研究所，天津 300160) 摘要 在飞秒激光与金属材料相互作用研究的基础上，在不同的激光器运行参数条件下利用飞秒激光器在金属铝箔 上制备阵列微孔，研究了对阵列微孔的孔径与激光器工艺参数之间的关系。利用Origin7．0及SPSS13．0对实验数据 进行分析，指明了飞秒激光器脉冲数、脉宽、单脉冲能量对孔径大小的影响。 关键词 飞秒激光；脉冲数； 脉宽；单脉冲能量 中图分类号 TP1 OCIS 140．3538140．7090 文献标识码 A FemtosecondLaserProcessingM icroporousinAluminum Foil WangGang YangXichen LiangM ing FuNingxia fGuangdongInstituteofTextileTechnology，Foshan，Guangdong528041，China1 LaserProcessingCenter,TianjinPolytechnicUniversity,Tianjin300160，ChinaJ Abstract Basedon thestudy on femtosecond laserinteractionwithmetalmaterials．with differentlaseroperating parameters．micro—arraysporesraeprocessed on aluminum foilwith femtosecondlaser．Therelationship betweenthe apertureofaluminum foilprocessingmicro-arraysporesandthelaserparameterisstudied．Origin7．0andSPSS 13．0are usedtoanalyseexperimentaldatabygraphs．Th einfluencesoffemtosecondlaserpulsenumber,pulsewidth，singlepulse energyontheaperturesizesareindication． Keywords femtosecondlaser；pulsecount；pulsewidth；monopulseenergy 1 引 言 激光切割、激光表面处理、激光焊接、激光打孔和工业领域的迫切需求，大大促进了激光加工技术的 实用化l1I2]。膜工业的发展为激光微加工技术带来了新的挑战。目前，市面上微孔过滤膜多以高分子材料为 主，从而限制了膜技术的应用，也提高了其成本。利用飞秒激光与金属材料作用的特性制备金属微孔膜， 力求寻找一条新型膜材料之路3【J。在现代制造技术的支持下，金属箔越来越薄，而且致密度很高，为探索 新的膜材料提供了前提。利用 日益发展的激光技术在金属箔上制备微孔已不是难事，将激光技术与膜技术 有机结合，探索一种新的膜材料之路 4【J。超短脉冲激光微加工技术已进入新的时代，利用其制备微孔过滤 膜具有重要的研究价值。本文在不同的激光器运行参数条件下利用飞秒激光器在金属铝箔上制备阵列微 孔，研究了阵列微孔的孔径和激光器工艺参数之问的关系5【】。 收稿 日期：2009—08—06；收到修改稿 日期：2009—11．02 作者简介：汪 1~J1(1979--)，男，硕士研究生，讲师，主要从事激光加工方面的研究。E—mail：wg _ 2002@126．com 导师简介：杨洗陈(194l一)，男，教授，博士生导师，主要从事激光材料相互作用和激光加工理论及应用等方面的研究。 E—mail：yangxich@126．com