《数理统计》课程论文-统计方法在高精度定位台上的应用.doc

课程论文成绩： 评语： 任课教师签字： 年 月 日 统计方法在高精度定位台上的应用 2015级，测试计量技术及仪器，李喆，S1502080429 1 高精度定位台的提出 超精密定位工作台是超精密机械中的一种典型结构，由于它能够提供一个高精度定位和精确运动的载物平台，它在生物技术、微光刻技术、数控加工、纳米表面形貌测量等都有广泛应用。本文平台采用气浮技术，而气浮式平台驱动控制系统克服了机械式平台行程短、摩擦力大、响应滞后大等缺点，能够精确定位和长行程高速运动，满足短行程高分辨率的要求，代表着新型工作平台的发展方向，在半导体光刻设备、生物医学领域、精密测量等领域都有广泛的应用前景。 国际化标准组织( ISO) 提出了完整的定位精度标准(ISO 230- 2), 我国的国家标准于1997 年起采用与ISO 完全相同的标准。运动体的定位精度是指运动部件实际位置和目标位置的接近程度; 在精密定位平台系统中是指平台在移动过程中, 根据指令信号沿某一坐标轴方向移动一段距离时的实际值与给定值的接近程度。目前常用的标准有国际标准ISO 230美国国家标准NMTBA德国国家标准VDI/DGQ3441,而本文选用国际标准对定位精度进行验证。通过单频激光干涉仪测量平台的定位精度及重复定位精度等指标。 出不同因素对单频激光测距的影响，从而为提高测距算法的测距精度提供理论基础，进而进行合理的算法改进。本文主要以精细积分故障测距算法为例进行研究。 2 精细积分激光测距的正交试验设计 2.1 正交试验设计简介 试验设计是数理统计的一个分支，主要研究如何收集数据以供统计推断之用。正交试验设计是最常用的一类试验设计方法，用于因子（或自变量）个数较多需要安排较多次试验的情况。它是根据正交性从全面试验中挑选出部分具有代表性的点进行试验，这些代表性的点具备均匀分散、齐整可比的特点。正交试验设计在试验周期长或试验费用较大的情况时能通过巧妙地安排试验，大大降低试验次数同时基本达到一致的试验效果[2]。 2.2 仿真试验正交表分析 本文旨在通过正交试验设计研究丝杠精度误差、脉冲误差、同心度误差等3个因素对精细积分算法的测距误差进行方差分析，以此推断各因素影响的显著性，进而根据各因素对测距结果的影响程度确定试验中的最佳水平搭配。这3个因素的各个水平如下。 表1 因素水平表 因子 水平 1 2 3 A 丝杠精度误差（μm） 10 20 30 B 脉冲误差（μm） 1.8 3.7 5.5 C 同心度误差（μm） 3.8 15.2 34.3 其中丝杠精度误差：丝杆转5mm的行程所产生的误差，脉冲误差：驱动器每产生8192个脉冲电机转一圈，但是会有10个脉冲以内的误差，本文取脉冲误差个数依次为3、6、9。同心度误差：丝杠安装的偏差，本文取0.5°、1°、1.5°再根据余弦定理算出直线误差。 步骤1 选正交表：由于每个因子取3种水平，因此应该在3水平正交表中选取。一般为了节省试验次数尽量选择较小的表。现在选取，这个表最多可以安排4个因子，只需安排9次试验。如果不用正交表，这3个因子的各组水平搭配有种，一般要安排27次试验，可见正交表大大节省了试验次数。 步骤2 表头设计：把各个因子安放在正交表的各列上端。现在只有3个因子，而有4列。可以把3个因子安放在任意3列上，那个不安放因子的列称为空列。假定把因子A，B，C分别安放在前3列上，表头设计如表2所示。 表2 表头设计 因子 丝杠精度误差 脉冲误差 同心度误差 空列 列号 1 2 3 4 步骤3 制订试验方案：把每个因子中的3个水平与中代表水平的数字1、2、3建立一一对应关系。为了避免系统误差，可采用抽签或查随机数表的方法决定对应关系。为了不使记号过于复杂，这里假定水平,,用数字1表示，水平,,用数字2表示，以此类推建立试验方案如表3所示。 表3 试验方案表 A B C 测量误差 （μm） 1 2 3 1 10 1.8 3.8 15.6 2 10 3.7 15.2 28.9 3 10 5.5 34.3 49.8 4 20 1.8 15.2 37 5 20 3.7 34.3 58 6 20 5.5 3.8 33.3 7 30 1.8 34.3 66.1 8 30 3.7 3.8 37.5 9 30 5.5 15.2 50.7 试验方案表给出了计划要做的9次试验应采取的水平搭配。例如，第3行上3个数字依次为1、3、3，这表示第3号试验的水平搭配为，即取丝杠精度误差10μm，脉冲误差