检测技术实验3 扩散硅压阻式压力传感器、电容传感器、直流激励时霍尔传感器和反射式光纤位移传感器测量实验.docVIP

上海电力学院 检测技术实验 实验八　压阻式压力传感器的压力测量实验 一、实验目的 了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。 二、实验仪器 压力传感器、气室、气压表、分压器、差动放大器、电压放大器、直流电压表 三、实验原理 扩散硅压力传感器的工作原理如图8-1，在X形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流，当敏感芯片没有外加压力作用，内部电桥处于平衡状态，当有剪切力作用时，在垂直于电流方向将会产生电场变化，该电场的变化引起电位变化，则在与电流方向垂直的两侧得到输出电压Uo。 （8-1） 式中d为元件两端距离。 实验接线图如图8-2所示，MPX10有4个引出脚，1脚接地、2脚为Uo+、3脚接+5V电源、4脚为Uo-；当P1P2时，输出为正；P1P2时，输出为负（P1与P2为传感器的两个气压输入端所产生的压强）。 图8-1 扩散硅压力传感器原理图 图8-2 扩散硅压力传感器接线图 四、实验内容与步骤 按图8-2接好“差动放大器”与“电压放大器”，“电压放大器”输出端接数显直流电压表，选择20V档，打开直流开关电源。 调节“差动放大器”与“电压放大器”的增益调节电位器到适当位置并保持不动，用导线将“差动放大器”的输入端短接，然后调节调零电位器使直流电压