第四章_光栅传感器.ppt

传感器原理及应用 4.1 光栅基础 1.光栅的结构 光栅是在一块长条型（圆形）光学玻璃（或金属）上均匀刻上许多宽度相等的刻线，形成透光与不透光相间排列的光电器件。 栅线——光栅上的刻线，宽度a 缝隙宽度b 栅距w=a+b（也称光栅常数） 2、分类 按原理和用途：物理光栅和计量光栅 物理光栅：刻线细密,利用光的衍射现象,主要用于光谱分析和光波长等量的测量。 计量光栅：主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、振动等几何量的测量。 2、分类 按光的走向：透射式（玻璃）和反射式（金属） 透射式光栅：刻划基面采用玻璃材料 反射式光栅：刻划基面采用金属材料 按栅线形式：黑白光栅（幅值光栅）和闪耀光栅（相位光栅） 黑白光栅：利用照相复制工艺加工而成,其栅线与缝隙为黑白相间结构； 相位光栅：横断面呈锯齿状,常用刻划工艺加工而成。 反射式光栅 透射式光栅 2、分类 按应用类型：长光栅和圆光栅 透射式圆光栅 3.莫尔条纹 1).莫尔条纹的形成及其特征 当指示光栅和主光栅的刻线相交一个微小的夹角θ时, 光源照射光栅尺，由于挡光效应，两块光栅刻线的相交处形成暗带，而在刻线彼此错开处形成亮带。在与光栅线纹大致垂直的方向上, 产生出亮暗相间的条纹, 这些条纹称为“莫尔条纹”。 莫尔条纹演示 1.长光栅莫尔条纹 长光栅组的栅线方程 斜光栅组的栅线方程为 莫尔条纹测量原理与基本特性 1.长光栅莫尔条纹 相邻两亮线（或暗线）间的间距为两相邻k值所代表的两直线之间的距离，记以W，则W 为 长光栅莫尔条纹 长光栅光闸莫尔条纹 圆弧莫尔条纹 光闸莫尔条纹 环形莫尔条纹 辐射形莫尔条纹 2) 莫尔条纹的特征 ①、位移放大作用 ②、运动对应关系 通过莫尔条纹的运动特性判别光栅的运动特性 莫尔条纹测量原理与基本特性 2. 圆光栅的莫尔条纹 计量圆光栅的系统结构和长光栅的结构类似，一般由黑白光栅副和光学系统、接收系统所组成。 根据光栅栅线形状的不同，圆光栅分为： 圆形 直线形 径向辐射光栅 切向光栅 由于各类圆光栅本身结构上的差别，使它们各自的莫尔条纹的形状也各不相同。 莫尔条纹测量原理与基本特性 节距角相同的两径向光栅偏心叠合 圆光栅莫尔条纹具有的基本特性有 （1）莫尔条纹横向性与纵向性 （2）条纹宽度非定值空间角位移与条纹平移量关系非线性 4.2 光栅传感器的工作原理 工作原理： 利用光栅的莫尔条纹现象实现几何量的测量：光栅的相对移动使透射光强度呈周期性变化，光电元件把这种光强信号变为周期性变化的电信号，由电信号的变化即可获得光栅的相对移动量。 特点： 数字式传感器：能把被测的模拟量直接转换成数字量。与模拟传感器相比，数字式传感器抗干扰能力强,稳定性强;易于微机接口,便于信号处理和实现自动化测量。 光栅传感器 一、 光栅传感器的结构与分类 常见的光栅光学系统 光栅光学系统一般分为光强调制型与相位调制型两大类。 光强调制型又可分为 反射式单光栅光学系统 反射式单光栅光学系统最大特点是空间分辨率提高一倍，即光栅移动半个栅距，莫尔条纹变化一个周期。 反射式双光栅光学系统 透镜式双光栅光学系统 双光栅又可分为直接接受式与分光接受式两类。 相位调制型光学系统又可分为 光栅扫描式相位调制光学系统 光电器件自扫描式相位调制光学系统 光强调制型光学系统 光强调制型光学系统 相位调制型光学系统 相位调制型光学系统 三、辨向原理及辨向电路 1）辨向的原因 当指示光栅无论向前或向后移动时，在一固定点安装的光电元件只能接收到莫尔条纹明暗交替的变化，后面的数字电路都将发生同样的计数脉冲，从而无法辨别光栅移动的方向，也不能正确测量出有往复移动时位移的大小。因而必须在测量电路中加入辨向电路。 2）辨向原理与辨向电路 4.5 莫尔条纹细分技术 目的：提高分辨力（测量更小的位移量）。 细分方法： 1.增加光栅刻线密度； 2.电子细分； 3.机械和光学细分。 电子细分：在一个栅距即一个莫尔条纹信号变化周期内, 发出n个脉冲, 每个脉冲代表原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高了n倍, 因此也称之为n倍频法。 通常采用的电子细分方法有：四倍频细分和电桥细分等。 光源：红外发光二极管 主光栅：透射式黑白振幅光栅； 指示光栅：四裂相光栅，得到四路相位差依次为π/2的原始信号； 光电元件：光电三极管 四路原始信号经差分放大器放大、移相电路分相、整形电路整形、倍频电路细分、辩相电路辩相后进入可逆计数器计数，由显示器显示读出。 播放中…… 单击准备演示 播放动画 播放动画 播放中…… 播放动画 播放中…… 单击准备演示 单击准备演示 播放动画 相邻两条莫尔条纹间距B