气浮式隔振光学平技术要求.docVIP

气浮式隔振光学平台技术要求 设计指标: ●隔振系统整体内容包括隔振平台主体钢平台、隔振支撑系统、气动控制系统和空气源四大部分，总高800mm，其中台板尺寸为：长2400mm×宽1200mm×厚200mm，平台总重量约为500kg，高度为600mm； ● 隔振系统（隔振器）固有频率： 1~2HZ（需附出厂检测报告） 台板整体表面平面度：； 台板表面粗糙度：； 隔振效率：5~10Hz： 隔振效率：78~94%， 10~20Hz： 隔振效率：94~97%， 20Hz： 隔振效率：97%； 系统调平方式：自动调节； 隔振支撑工作压力：0.2～0.6Mpa； 平台表面布有标准公制螺纹孔，孔距为25mm×25mm均布阵列，孔中心距边37.5mm，表面密迪纹抛亚光处理； 二、设计方案: 蜂窝结构隔振内芯超导磁隔振平台面板，台板强度高，稳定可靠；隔振器采用超薄复合材料气囊、带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术，隔振性能良好,系统稳定。自动水平，自动充气，关键气动执行元件需采用德国FEST0产品，配套无油空气压缩机气源、噪声低。 三、应用领域要求： 显微镜、医疗生物 光路测试、光学测量 激光扫描、激光干涉 光谱实验、精密检测 集成电子 对振动要求非常高的仪器设备 四、台板参数要求： 1、设计参数： 平台台板