第5章节精密加工中的测量技术.pptxVIP

5.1 精密测量技术概述 5.2 生产单位的长度基准和测量基准平台 5.3 直线度、平面度和垂直度的测量 5.4 角度的测量 5.5 圆度和回转精度的测量 5.6 激光测量 5.7 自由曲面的测量 2017-11-27 第5章 精密加工中的测量技术 2017-11-27 第1节 精密测量技术概述 精密测量是精密加工中的重要组成部分,精密加工的精度和表面质量要依靠测量精度来保证。精密加工机床设备和零件的精度和表面质量的检测要求有: 1)尺寸精度,精加工现在可达到微米级和纳米级精度。 2)几何精度,含直线度、平面度、垂直度、圆度、回转误差、角精度、自由曲面的形状误差等。 3)表面粗糙度,含表面波度等中频加工误差。 4)表面变质层,含金相组织的变化、表面层残留应力等。 测量精度一般应比被测件的精度高一数量级。由于技术发展,现在加工精度不断提高,这就需要新的测量方法和更高精度的测量仪器。精密测量的基础技术和常用测量仪器过去已经学过,本章仅讲述和精密加工有关的并有特点的测量技术。 一、精密加工对测量技术的要求 2017-11-27 第1节 精密测量技术概述 二、精密测量技术的新发展 1.极高精度测量方法和测量仪器的发展 近年发展了多种高精度和新原理的测量方法和仪器,如测量长度时能达到0.1nm级的双频激光测量系统和X射线干涉仪等,测量表面微观形貌达0.1nm级的扫描隧道