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第四章：云纹干涉法及其应用 第四章：云纹干涉法 一、云纹干涉法原理 1. 相交平行光的干涉 满足干涉条件下，两相交平行光干涉形成等间距干涉条纹 空间频率 位相型光栅的衍射 如果： 令 ??1 = 0. 如果 ?=632.8 nm (He-Ne laser) 且 f =1200 l/mm 则有 ?=?49.4?. 2. 光栅衍射方程 3.波前(wavefront)及波前干涉 平行光的波前为平面 如果衍射光栅没有畸变或均匀畸变，平行光的各级衍射光的波前为平面 如果衍射光栅有非均匀畸变，平行光的各级衍射光的波前为曲面，并且可以看成多个不同衍射方向的平面波前的组合 Fourier 波前模型 4、对称入射光的?1级衍射光的干涉 两束光以特定角对称入射在无畸变的光栅上，使其?1级衍射光沿光栅法向方向。 两衍射光不产生干涉，记录不到条纹 (Null 场） 两衍射光发生干涉，产生均匀的、等间距平行条纹 光栅发生均匀变形 光栅发生非均匀变形 N (x, y)=S (x, y)/? 两衍射光发生干涉，产生非均匀、非等间距的条纹，条纹级数与分布形式与两个翘曲的波前间距直接相关： 5、?1级衍射光干涉条纹的力学意义 云纹干涉法的测量原理 变形前P点处的两根出射衍射光线1、2可以表示为： k是两入射光线在p点的光程差， ?OPL1 =A