薄膜材料制备复习课.ppt

薄膜材料制备原理、技术及应用 考试题型 选择题（10分） 填空题（30分） 简答题（40分） 分析作图计算等 综合题（20分） 前 言 固态薄膜(Thin Solid Films)材料是相对于体材料(Bulk Materials)而言的，通常具有特殊的材料性能或性能组合。它是现代材料科学各分支中发展最为迅速的一个分支之一。 第一章 真空技术基本概念与定律 第一节 气体分子运动论的基本概念 第二节 气体的流动状态和真空的获得 第三节 真空泵简介 第四节 真空的测量 其中M为气体分子的相对原子质量，T为热力学温度，R为气体常数 　说明：1、由于单位体积内的气体分子数n与气体压力p成正比，因而分子的平均自由程将与气体的压力呈反比；即气体分子自由程随着气体压力的下降而增加。 2、在气体压力低于0.1Pa(!!!)的情况下，气体分子间的碰撞几率已很小，气体分子的碰撞将主要是其与容器器壁间发生的碰撞。 分子流状态： 在高真空环境下，气体的分子除了与容器壁碰撞以外，几乎不发生气体分子间的相互碰撞。这种气体流动状态被称为分子流状态。 特点：气体分子的平均自由程超过了气体容器的尺寸或与其相当。 第三节 真空泵 一、旋转式机械泵 二、罗茨真空泵 三、油扩散泵 四、涡轮分子泵 五、低温吸附泵 六、溅射离子泵