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湿热环境下微电子互连ACF的导电及腐蚀行为
湿热环境下微电子互连 ACF 的导电及腐蚀行为华丽1a,1b,2,郭兴蓬1a,杨家宽1b,刘凤鸣1a(1.华 中 科 技 大 学 a.化学与化工学院 ;b.环境科学与工程学院 ,湖 北 武 汉 430074;2.湖北第二师范学院化学与生命科学学院 ,湖 北 武 汉 430205)摘要 :各 向 异 性 导 电 胶 膜 (anisotropicconductiveadhesivefilm,ACF)替 代 锡 铅 (Sn/Pb)钎料 已 应 用 于 微 电 子 封 装 中 。 以 聚 苯 乙 烯 微 球 (Polystyrene,PSt)(3~5μm)为 导 电 核 心 体 ,其 表 面化 学 镀 一 层 Ni粒 子(1~2μm)形成的复合微球填充在 树 脂 中形 成的 各向异性导电胶膜作为 研 究 对象 ,采 用 交 流 阻 抗 和 动 电 位 扫 描 等 方 法 ,探讨了湿热环境下 ACF 胶 膜 导 电 及 耐 蚀 性 能 。 实 验 表 明 ,高 温(80 ℃)和 高 湿(RH85%)中 老 化 4h 后 ,各 向 异 性 导 电 胶 膜 的 接 触 电 阻 有 较 显 著 的 增 加 ,所 致 原因 是 湿 热 环 境 下 起 导 电 作 用 的 Ni粒 子 氧 化 阻 止 了 电 流 穿 越 ,且 温 度 的 影 响 大 于 湿 度 的 影 响 ,两 者 协 同 作 用 加 速 各 向 异 性 导 电 胶 膜(ACF)互 连 失 效 。 对 比 实 验 表 明 ,ACF 耐 腐 蚀 性 能 明 显 高 于 锡铅 钎 料 ,原 因 是 基 体 胶 对 导 电 粒 子 的 保 护 作 用 ,阻 碍 了 腐 蚀 介 质 向 内 部 扩 散 。关 键 词 :微 电 子 封 装 ;各 向 异 性 导 电 胶 ;腐 蚀 行 为 ;电 阻 变 化 ;动 电 位 极 化 ;交 流 阻 抗中 图 分 类 号 :O646.6文 献 标 志 码 :AElectronicconductiveattributesandcorrosivebehaviorofACFunderthermalhumidconditionsformicroelectronicinterconnectionHUALi1a,1b,2,GUOXing-peng1a,YANGJia-kuan1b,LIUFeng-ming1a(1a.SchoolofChemistryandChemicalEngineering;1b.SchoolofEnvironmentalScienceandEngineering, HUST,Wuhan,Hubei430074,P.R.China;2.SchoolofChemistryandLifeScience,HubeiUniversityof Education,Wuhan,Hubei430205,P.R.China)Abstract:Anisotropicconductiveadhesivefilm(ACF)ischosentosubstituteforSn/Pbsolderandappliedtomicroelectronicpackaging.Inthisthesis,ACFiscomposedofpolystyrene microspheres(PSt)(3~5μm) platedwithathinNiparticles(1~2μm)outsideandaspecialepoxyresin.Bothofthemaremixedtobe ACF.ElectronicconductiveattributesandcorrosiveresistancebehaviorofACFareanalyzedbyalternating currentimpedancemeasurementandpotentiodynamicpolarizationunderhighlythermalhumidconditions.Theresultsshowthatafteraging4hin80 ℃ and85% RHcondition,contactresistanceofACFincreases greatly,andthemainreasonistheoxidationformationofNipreventselectriccurrentfromgoingthrough. Furthermore,theeffectoftemperatureoncorrosivebehaviorofACFexceedstheeffectofhumidity,and both ofthem accelerate the failure of ACF reliability in mic
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