LCF介绍(中文版).pptVIP

ＬＣＦ系列 測定的項目（一） 測定的項目（二） 装置測定的玻璃最大 Size 顕微鏡光学系 大塚電子公司CF測試光學系統特點 自動化測定 膜厚測定項目（可選） 分光器ＭＣＰＤ的原理 分光器ＭＣＰＤ的校正（保證測定值是真實值即絕對值） Reference測定 Spectrum和色度 CIE　色度計算 色度計算的方法　 色度計算用光源的解釋　 測定画面 * 大塚電子㈱ CF測定裝置 L C F series ① 色度（Y,x,y...）???　RGB画素 ② 透過率 ??? ITO等 　 上 顕微鏡(40um Fiber) 下 顕微鏡(20um Fiber) 可以測定的四個項目。 ③ OD（Optical density）???BM的遮光部分 ④ 反射率???BM的反射率 対応機種　　　　　　玻璃 Size LCF-2100　　???　　　　400 ｘ 450mm LCF-2500　　???　　　　 550 ｘ 650mm LCF-3100　　???　　　　680 ｘ 880mm LCF-4100　　???　　　　 730 ｘ 920mm LCF-5100　　???　　 　1100 ｘ 1300mm LCF-7000　　???　　　 1300 ｘ 1800mm ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 　　分光器 Area marker光 透過照明光 透過測定光 反射光 下Lens 　Focus 上Lens 　Focus ４０μｍ ２０μｍ CCD 測定光學系是由上下的顕微鏡組成、進行小Spot的測定。 色精度　良好 受到混色的影響 一般測試系統 大塚電子測試系統 下光源使用顯微鏡 自動測定的特殊之處是 Auto Focus 、Auto Alignment （Option）。進行畫像處理完成的。 Auto Alignment　 Auto Focus　 下Lens Focus 上Lens Focus FFT法 5μm ( 5000nm ) 　　光干涉法 最小可測定範圍＞５０ｎｍ Glass 膜 干渉 500nm 100nm 50nm Fitting法 厚 薄 膜厚測定 困難 膜厚測定 簡単 膜屈折率的均一性　（製造条件的穩定） 1 層膜測定　精度良好　＞ 　2　層膜測定 ○ △ 有色（RGB Resist）　 ???　測定不可能 影響膜厚測定精度的因素 (1)Sample光通過反射珊格鏡面,將各波長的光分散開. (2) 光照射在Photo Diode Array上轉換成電流信號,在Array上的512個光電素子接收512個光的數據.(波長,電流) (3)使用 PC將數據進行演算,表示為Spectrum. Photo Diode Array Optical Fiber Slit 反射回折格子 光 光→電流 白色光→分光普 　　　　　　電流 波長１, 　156 波長2, 　 129 波長3, 　 104 　???　　　　??? 　???　　　　??? 波長512, 236 使用水銀－Ｎｅｏｎ（Ｈｇ－Ｎｅ）的輝線進行Spectrum波長的校正 Reference 　- 　　Dark Sample 　- 　　 Dark 色度 OD 透過率 Reference的測定是在透過測定之前進行的. Reference的測定是要使用同種的CF和同一材質 厚度的素玻璃. Reference???基準物(素玻璃)的測定 　　　　　　　　　　　　　※　反射率測定時使用標準AL鏡（大塚電子製） Dark ???分光器的Shutter關的狀態時的測定（黑暗狀態） 演算 ＝　透過率 可見光的範圍 ｘｙ色度図 紅外線 紫外線 780nm 380nm 波長 人的眼睛所能看到的光的波長範圍是380～780nm,如下面的圖中表示 色度図 x y 表色系 XYZ L*a*b* L*u*v* CIE1931 CIE1976 CIE1976 色差　ΔE*ab 白 L* +a* -a* -b* +b* 赤 黒 緑 黄 dL* db* da* dE*ab 根據國際照明委員會CIE的標準制成的 1931年XYZ表色系、 1976年Lab表色系、Luv 表色系 波長　nm RGB的透過率 CIE光源值 (A,B,C,D65,F10) 眼鏡的視覺感度 X = 44.195 Y = 24.725 Z = 4.171 x = 0.605 y = 0.338 × × CIE色度 XYZxy的計算方法如下面所表示 光源的色度圖 色度計算用光源有以下的特性 Spectrum Data xｙ色度図 以上 * * * ＣＦ色測定