关于推荐2014年度国家科学技术奖项目公示.PDFVIP

关于推荐2014 年度国家科学技术奖项目公示 根据国家奖励办公室的要求，现将有我会推荐的2014 年度国家技 术发明奖、科学技术进步奖项目进行公示。 自本公示发布之日起7 天内为异议期。如有对公示内容有异议 的，请在异议期内提交书面异议材料。 异议应包括异议具体内容和相关事实依据，以单位名义提出异议 的，应写明单位名称、法人、联系人、通信地址、联系电话及传真， 并加盖单位公章；以个人名义提出异议的，应签署本人真实姓名（签 字）、身份证号码、通信地址和联系电话。 不符合上述要求的异议不予受理。 中国机械工业联合会 2014 年1 月1 ６日 2014 年度推荐国家技术发明奖项目 项目名称 面向微纳制造过程的关键检测技术、设备及其应用 完 成 人 居冰峰、杨克己、陈远流、孙韬、王文、白小龙 完成单位 浙江大学、江苏中晶光电有限公司 项目简介 微纳制造技术能够为国防、航空航天、新能源等众多领域批量生产高精度传感器、微光学器件、IC、LED 器件、MEMS 等系统及零部件，是一个国家现代制造水平的重要标志。微纳制造大多采用超薄材料制造工艺， 器件公称尺寸数百mm、具有典型三维拓扑微纳结构等特点，其超薄材料特性、跨尺度形貌以及三维制造缺 陷等的测量和控制是微纳制造工艺溯源和质量保障的基础，意义重大。微纳测量核心技术被国外长期封 锁、高端设备对我国严格禁运，因此，研制具有自主知识产权的高端测量技术及设备是现实的迫切需求，更是 提高我国微纳制造源头自主创新能力的必由之路。 本项目在国家自然科学基金、“863”计划及国防预研课题等支持下，突破了面向微纳制造过程的跨尺 度、多参数关键检测技术。取得如下技术发明和创新点： 1、针对跨尺度复杂微纳结构测量失真的难题，发明了预测控制的宏/微驱动及双倾互补测量技术，形成跨 尺度测量能力；发明了高一致性、大长-径比探针批量定制方法以及微弱信号调理技术，能够测量最大500×500 mm、最小线宽20 nm、深-宽比100:1 的三维形貌，实现了微纳结构的“精密定形”； 2、针对超薄材料测量信号混叠的难题，提出了高频超声自动聚焦算法，发明了二维反射系数谱拟合定征 技术，对最小厚度为20m 的薄层材料的杨氏模量、密度、声速、衰减、厚度等六个物理、几何参量同时非接 触测量，效率提高3 倍、误差5%以内，实现了超薄材料特性的“精确定征”； 3、针对成品器件内、外部缺陷辨识率低的难题，提出自回归模型的高精度信号反卷积分离算法及三维图 像重构技术，单次扫描后完成横向分辨率2.5m、纵向分辨率5.0 m 的连续70 层快速立体视觉成像测量，实 现了三维制造缺陷的“精准定性”。 基于上述技术及关键部件，成功研制出具有自主知识产权的 LR-SPM 1000 型跨尺度形貌测量仪和 ULTRA-SAM 1000 型多参数超声显微测量仪，经用户与国外产品比对使用和浙江省计量科学研究院检测，总 体技术指标达到并超过国际同类产品先进水平。本项目已授权发明专利28 件，实用新型7 件，软件著作权2 件，SCI 检索重要论文32 篇，他引346 次。经中国机械工业联合会和中国机械工程学会联合鉴定：“整体技术 水平达到国际先进，主要技术创新点有自主知识产权，属国际领先，所开发的两套设备为国内外首创”，2013 年获中国机械工业科学技术奖 （技术发明奖）一等奖。 新技术及设备已应用于蓝宝石切片、研磨、抛光等全加工周期中，形成全新加工工艺，效率提高2 倍，废 品率下降30%，可量化经济效益3.0 亿元，并成功应用于我国军用微光夜视仪关键光学部件测量、某型远程预 警雷达系统关键器件预检和分选、新一代航空复合材料的无损检测以及金刚石超精密切削零部件的在线检测 等，并且为Canon 公司、飞思卡尔半导体、日本、澳大利亚的大学等提供国际测量服务，社会效益明显。 “质高、面广、效果显著”是高档测量技术的共同特征，项目实现了微纳制造过程的精密“定形、定征、 定性”，改变了过去终点监测的模式，使微纳加工全过程定量检测成为现实，这将革新IC 制造、MEMS、微光 学器件切削加工、微模具激光/聚焦能束加工等微纳制造产业，随着技术推广及产业化的深入，必将产生更显 著的经济