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薄膜物理 Thin Film Physics 陕西科技大学材料科学与工程学院 6.1 引言 Plate 盘子, 金属板, 图版, 金银餐具镀（金, 银等）, 电镀, 给...装钢板 Layer 层, 阶层 Coating外套, (动物的)皮毛, (植物的)表皮, (漆等的)层, 涂层 涂上, 包上 Membrane [membrein] (薄)膜, 隔膜 Film (Thin film) 薄膜, 膜层, 胶卷, 影片, 薄雾, 轻烟, 电影 在...上覆以薄膜, 拍成电影生薄膜, 变成朦胧, 拍电影 Foil [f?il]箔, 金属薄片, 叶形片, 烘托, 衬托 衬托, 阻止, 挡开, 挫败, 贴箔于 6.1 薄膜定义 6.1 薄膜的定义 薄膜是生长在基片之上，厚度在亚微米以下，具有一定功能的材料。 Langmuir-Blodgett film LB膜的历史 自组装膜（Self-assembled membranes） SAMFET 自组装原理 6.2 薄膜材料的特点 6.2 薄膜材料的特点 6.2 薄膜材料的特点 6.2 薄膜材料的特点 6.2 薄膜材料的特点 6.2 薄膜材料的特点 ——超晶格的定义 6.3 薄膜的特性 1.薄膜所用原料少，容易大面积化，而且可以曲面加工。 例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond 6.3 薄膜的特性 6.4 薄膜的分类 按功能和应用领域分为： 电学薄膜：导电、电阻、半导体、介电、压电、 铁电、超导、光电、传感、磁电、光能、电光。 光学薄膜：减反射、反射、分光滤光、光存储。 工程薄膜：耐腐蚀、防磨损、热传导、润滑。 生物医学薄膜：抗菌杀毒、生物活性 装饰包装薄膜：金、仿金TiN、铝箔 5. 可实行多层膜复合，如超晶格。 可采用分子束外延（MBE）方法制备具有原子尺度周期性的所谓超晶格结构的多层膜。 例如用这种机理，已制成GaAs-AlGaAs超晶格高电子迁移率晶体管（HEMT）和多量子阱（MQW）型激光二极管等。 超晶格材料是两种不同组元以几个纳米到几十个纳米的薄层交替生长并保持严格周期性的多层膜。 ——特定形式的层状精细复合材料。 两种或两种以上组分不同或导电类型不同的极薄的薄膜交替地叠合在一起而形成的多周期结构。这种周期结构的势阱区厚度小于电子平均自由程，势垒区足够窄，以致相邻势阱中的电子波函数能够互相耦合。 按其所含的组分数目可以分为只含一种组分的掺杂超晶格；含两种组分的组分超晶格和含有两种以上组分的复型超晶格。根据组分材料之间的晶格匹配情况可分为晶格匹配的超晶格和失配的应变层超晶格。此外还有所谓短周期超晶格和一维、零维超晶体，以及由不同特征的超晶格组合在一起的，具有更为复杂能带结构的混合型超晶格。 6.2 薄膜材料的特点 耦合就是指两个实体相互依赖于对方的一个量度。 6.3 薄膜的特性 用料少，经济方面考虑 新的效应 新的材料 容易实现多层膜 薄膜和基片的粘附性 薄膜的内应力 缺陷 2.新的效应 某一维度很小、比表面积大 例：极化效应、表面和界面效应、限域效应、耦合效应 DLC coated a magnetic thin-film disk Liquid lubricant 1-2 nm DLC 10-30 nm Magnetic coating 25-75 nm Al-Mg/10 ?m NiP or Glass-ceramic 0.78-1.3 mm The surface of stretched (12%) video tape with DLC-layer with a thickness of 30 nm. The surface of stretched (12%) video tape without DLC-layer. diamond like carbon photoluminescence spectra of a series of GaN/AlxGa1-xN double heterostructures (DH’s) 可以通过改变薄膜的厚度或者外加偏压来调节发光的波长 6.3 薄膜的特性 改变缺陷能级上的电子分布?影响光电过程 表面和界面效应：表面态和界面态 表面和界面效应：表面态和界面态 导带 表面能级 价带 晶体外 晶体内 距离 晶体表面的能带结构 ● ● ● ● ● ● 导带 价带 费米能级 施主能级 电子 ● ● ● ● ● ● ● ● n型半导体的表面能级 ● 半导体异质界面 二维电子气 量子霍尔效应 限域效应 出现亚能带，d较小时产生能隙 通过退火控制带隙