原创力文档常压低温等离子体沉积多孔硅基纳米颗粒薄膜的过程研究Study on the deposition of porous silicon based nanocrystalline thin film by atmospheric pressure low temperature plasma.pdfVIP
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常压低温等离子体沉积多孔硅基纳米颗粒薄膜的过程研究Study on the deposition of porous silicon based nanocrystalline thin film by atmospheric pressure low temperature plasma
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