测试技术基础课件北京工业大学机电学院第07章 压电式传感器.ppt

正压电效应 某些物质在沿一定方向受到压力或拉力作用而发生改变时，其表面上会产生电荷；若将外力去掉时，它们又重新回到不带电的状态，这种现象就称为正压电效应 逆压电效应 在压电材料的两个电极面上，如果加以交流电压，那么压电片能产生机械振动，即压电片在电极方向上有伸缩的现象，压电材料的这种现象称为“电致伸缩效应”，也叫做“逆压电效应”。 石英晶体的压电效应演示 式中x、y、z是与晶轴关连的直角坐标系。 式中 d12—石英晶体在Y—Y轴方向受力时的压电系数； ly，lx—石英切片的长和厚。 压电材料的主要特性参数 压电元件材料一般有三类： (1) 单晶压电晶体（如上述的石英晶体） (2) 多晶压电陶瓷 (3) 新型压电材料 --- 压电半导体 --- 高分子压电材料 1. 石英晶体 一种天然晶体，压电系数d11＝2.31×10-12C/N； 莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 优点： 转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃(压电系数不随温度而改变)、工作湿度高达100%、稳定性好。 1. 石英晶体 天然形成的石英晶体外形（续） 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 石英晶体振荡器（晶振） 石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率 2. 压电陶瓷 人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。 常见压电陶瓷： (1) 钛酸钡(BaTiO3)压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英 (2) 锆钛酸铅Pb(Zr·Ti)O3系压电陶瓷(PZT) 压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件的变化小，在锆钛酸铅的基方中添加一两种微量元素，可以获得不同性能的PZT材料。 (3) 铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷(PMN) 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工作，可作为高温下的力传感器。 压电陶瓷外形 高分子压电薄膜及拉制 3. 新型压电材料 (1) 压电半导体材料 压电半导体材料有硫化锌( ZnS)、碲化镉(CdTe)、氧化锌(ZnO)、硫化镉(CdS)、碲化锌(ZnTe)和砷化镓(GaAs)等。这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可检测力和温度等参数。 (2) 高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯(PVF2或PVDF)、聚氟乙烯(PVF)、改性聚氯乙烯(PVC)等。它是一种柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，频率响应范围较宽，测量动态范围可达80dB。 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 高分子压电薄膜制作的压电喇叭 (1) 压电元件的基本变形 (2) 双晶片元件 (1) 压电元件的基本变形 1、厚度变形（TE方式） 2、长度变形（LE方式） 3、面剪切变形（FS方式） 4、厚度剪切变形（TS方式） 5、弯曲变形（BS方式） (2) 双晶片元件 实际使用中，采用单片压电片工作的话要产生足够表面电荷就需很大作用力但测量粗糙度和微压差时所提供的力很小，因此为了提高其灵敏度，通常是把两片或两片以上同型号的压电元件粘贴在一起。由于压电晶片有电荷极性，因此连接方式有并联和串联两种形式。 两个压电片的联结方式 压电式传感器要求负载电阻RL必须有很大的数值，才能使测量误差小到一定数值以内。 因此常先接入一个高输入阻抗的前置放大器，然后再接一般的放大电路及其它电路。 测量电路关键在于高输入阻抗的前置放大器。 前置放大器两个作用： 把压电式传感器的微弱信号放大； 把传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。 1、电压放大器 传感器的低频响应范围 如果被测物理量是缓慢变化的动态量，而测量回路的时间常数又不大，则造成传感器灵敏度下降。因此为了扩大传感器的低频响应范围，就必须尽量提高回路的时间常数。 但这不能靠增加测量回路的电容量来提高时间常数，因为传感器的电压灵敏度与电容成反比的，切实可行的办法是提高测量回路的电阻。由于传感器本身的绝缘电阻一般都很大，所以测量回路的电阻主要取决于前置放大器的输入电阻。放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常数就越大，传感器的低频