ZrWNrAg复合膜的力学性能和摩擦磨损性能研究-江苏科技大学学报.PDFVIP

第３１卷第４期 江苏科技大学学报（自然科学版） Ｖｏｌ．３１ Ｎｏ．４ 　 ２０１７年８月 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＪｉａｎｇｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ）　 Ａｕｇ．２０１７ 　　　　　　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７３－４８０７．２０１７．０４．００５ ＺｒＷＮ－Ａｇ复合膜的力学性能和摩擦磨损性能研究 许俊华，周　刚，陈　虎 （江苏科技大学 材料科学与工程学院，镇江２１２００３） 摘　要：通过非平衡磁控溅射仪制备了不同Ａｇ含量的ＺｒＷＮ－Ａｇ纳米复合膜，采用Ｘ射线衍射仪、扫描电镜、能谱仪、纳 米压痕仪、摩擦磨损仪和三维形貌仪等对薄膜的微结构、成分、表面形貌、力学性能和室温及高温摩擦磨损性能进行表征， 并探讨了复合膜在不同温度下的摩擦磨损机制．结果表明：ＺｒＷＮ－Ａｇ复合膜是由面心立方的ＺｒＷＮ、ＷＮ和弥散分布的晶 ２ 态Ａｇ相组成．随着Ａｇ含量增加，薄膜的硬度先增大后减小．室温下，薄膜的摩擦系数和磨损率随Ａｇ含量增加而逐渐降低； 温度由２００℃升高至７００℃时，薄膜摩擦系数逐渐降低，磨损率逐渐增大，温度一定时，Ａｇ含量越高，复合膜的摩擦系数越 低，但磨损率越高．研究表明：Ａｇ的加入改善了薄膜力学性能、室温下的摩擦磨损性能以及高温下的摩擦性能，但高温下的 磨损性能未得到改善． 关键词：磁控溅射；ＺｒＷＮ－Ａｇ复合膜；力学性能；摩擦磨损性能 中图分类号：ＴＧ１７４．４４　　　　　文献标志码：Ａ　　　　　文章编号：１６７３－４８０７（２０１７）０４－０４３３－０６ Ｓｔｕｄｙｏｆｍｅｃｈａｎｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｙａｎｄｆｒｉｃｔｉｏｎａｎｄｗｅａｒ ｂｅｈａｖｉｏｒｏｆＺｒＷＮ－Ａｇｎａｎｏｃｏｍｐｏｓｉｔｅｆｉｌｍｓ ＸＵＪｕｎｈｕａ，ＺＨＯＵＧａｎｇ，ＣＨＥＮＨｕ （ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＪｉａｎｇｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｚｈｅｎｊｉａｎｇ２１２００３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＺｒＷＮ－Ａｇｎａｎｏｃｏｍｐｏｓｉｔｅｆｉｌｍｓｗｉｔｈｖａｒｉｏｕｓｓｌｉｖｅｒｃｏｎｔｅｎｔｓｗｅｒｅｄｅｐｏｓｉｔｅｄｂｙｒｅａｃｔｉｖｅｕｎｂａｌａｎｃｅｄ ｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ．Ｔｈｅｉｒｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ，ｍｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄｔｒｉｂｏｌｏｇｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｗｅｒｅｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ ｂｙＸ－ｒａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ（ＸＲＤ），ｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ（ＳＥＭ），ｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ（ＥＤＳ）， ｎａｎｏｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎａｎｄｂａｌｌｏｎｄｉｓｋｔｒｉｂｏｍｅｔｅｒ．Ｔｈｅｔｒｉｂｏｌｏｇｉｃａｌｍｅｃｈａｎｉｓｍａｔｄｉｆｆｅｒｅｎｔｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓｗａｓｄｉｓ ｃｕｓｓｅｄ．ＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｄｔｈａｔＺｒＷＮ－ＡｇｔｈｉｎｆｉｌｍｓｈａｖｅａｆｃｃｃｒｙｓｔａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｎｏＡｇｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｐｅａｋｓ ｗｅｒｅｆｏｕｎｄ．ＷｉｔｈｔｈｅｉｎｃｒｅａｓｅｏｆＡｇｃｏｎｔｅｎｔ，ｔｈｅｈａｒｄｎｅｓｓｏｆｆｉｌｍｓｉｎｃｒｅａｓｅｄｆｉｒｓｔａｎｄｔｈｅｎｄｅｃｒｅａｓｅｄ．Ａｔｒｏｏｍ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｔｈｅｆｒｉｃｔｉｏｎｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｓａｎｄｗｅａｒｒａｔｅｏｆＺｒＷＮ－ＡｇｆｉｌｍｓｄｅｃｒｅａｓｅｄｇｒａｄｕａｌｌｙｗｉｔｈｉｎｃｒｅａｓｉｎｇＡｇ ｃｏｎｔｅｎｔ．Ｗｈｅｎｔｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｒｅａｃｈｅｄ２００～７００℃，ｔｈｅｆｒｉｃｔｉｏｎｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｏｆＺｒＷＮ－Ａｇｆｉｌｍｓｍａｉｎｌｙｄｅ ｃｒｅａｓｅｄａｎｄｔｈｅｗｅａｒｒａｔｅｉｎｃｒｅａｓｅｄｇｒａｄｕａｌｌｙ．Ｗ