螺旋波诱导氢等离子体的密度跳跃研究-电子科学技术.PDFVIP

第32 卷 第1 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.32, No.1 2 0 1 2 年 3 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics March 2012 文章编号：0254−6086(2012)01−0087−05 螺旋波诱导氢等离子体的密度跳跃研究 1 2 3 3 2 1 1 姜 帆 ，吴卫东 ，高映雪 ，戴 阳 ，王瑜英 ，程新路 ，熊政伟 (1. 四川大学原子与分子物理研究所，成都 610065 ；2. 中国工程物理研究院， 激光聚变研究中心，绵阳 621900 ；3. 西南科技大学理学院，绵阳 621010) 摘 要：采用Langmuir 探针方法对氢等离子体中电子密度和电子能量概率函数随射频功率的变化进行研究， 发现电子密度在射频功率增加过程中出现两次跳跃。通过发射光谱法测得氢等离子体H 、H 和H 三条谱线强度 α β γ 比值的变化，进一步验证了密度跳跃现象。该现象说明氢等离子体的放电模式发生了从电感耦合到电容耦合再到 螺旋波模式的转变。从电子与氢分子的相互作用和Nagoya type Ⅲ型(N-型)天线电场耦合作用两方面解释密度跳 跃现象。随着输入功率的增加，电子与氢分子相互作用增强，使电子密度发生跃变；当天线横向电场 Ey 取最大 值，螺旋波轴向波矢kz 分别为π/la 和3π/la 时天线与等离子体耦合最好，分别产生两次密度跳跃。 关键词：螺旋波等离子体；电子密度；放电模式转变；密度跳跃；天线耦合 中图分类号：O539 文献标识码：A 1 引言 式转变[7] ；房同珍通过实验研究，得出天线耦合的 [8] 在等离子体化学气相沉积中，低温等离子体状 某种不稳定性会使等离子体密度突然发生跳跃 。 态直接影响薄膜的沉积速率、结构和质量[1, 2] 。因 然而，目前对于密度跳跃现象产生原因的解释不 此，对等离子体密度变化的影响机制进行研究，可 多。本文采用 Langmuir 探针测量了螺旋波激发产 以更好的控制薄膜的生长。螺旋波放电等离子体是 生的氢等离子体密度，观察到了密度跳跃现象，并 一种高离化率的等离子体源，它由驱动天线激发， 通过发射光谱验证了跳跃现象的存在性，从电子与 给天线通入高频电流，引起磁化等离子体产生右旋 氢分子碰撞及 N-型天线耦合对等离子体密度的影 极化波，电磁波的能量通过朗道阻尼等方式被电子 响两个方面解释了产生密度跳跃现象的原因。 吸收，从而产生螺旋波等离子体[3, 4] 。与其他等离 2 实验 子体源( 电容耦合和电感耦合等离子体等)相比，螺 旋波等离子体具有电子密度高且均匀、约束磁场低 实验中所用到的装置为 Langmuir 探针和光谱 [9] [5] 法诊断螺旋波等离子体化学气相沉积系统 。当真 等优点 。