TFT製程詳解.ppt

TFT-LCD 制程简述 PPT 內 容 切割裂片 13.3“ 五, 液晶注入 1.抽真空 2.封閉CHAMBER, 將液晶皿上昇,使 注入口達到液面 之下 液晶 液晶 利用大气压力 及毛细现象 将液晶灌入 cell內 3.破真空 六, Panel的形成 UV胶 (紫外线胶) 照 射 紫 外 线 Color filter Array chip 磨边(去掉短路棒 shorting bar) 短路棒 七, POLA的貼付 偏光片贴附 上下偏光片滤光角度差90度 偏光板贴合制程 清洗机 定 位 清洁 偏光板供应 贴片 传 送 * 客服部 許瑞松 TFT-LCD簡介; TFT-LCD 製程介紹; TFT-LCD簡介; L C D 的 用 途 什么是TFT-LCD ? TFT----薄膜电晶体 Thin Film Transistor LCD----液晶显示器 Liquid Crystal Display LCD 顯示原理 上偏光板 下偏光板 保护膜 玻璃基板 顏色区 黑色框罩 框胶区 电晶体 液晶 ITO共用极 ITO显示电极 背光灯管 反射板 棱镜板 光扩散板 印刷电路板 驱动IC 驱动IC 异方性导电膜 补偿电容 间隙粒子 TAB 导光板 TFT-LCD 剖面圖 ITO 画素电极 液晶分子 CRYSTAL CF彩色 滤光膜 GATE 閘 極 SOURCE 源 极 DRAIN 汲 极 B.L 背光 一个电晶体(显示单位)动作示意图 光??? 非极化光 线性偏极光 偏光板作用及液晶旋光性介紹 液 晶 動 作 原 理 Data driver Scan driver 電晶體 TFT-LCD 製程介紹; Array Thin-Film Transistor Cell Liquid Crystal Module Array:电晶体 矩形阵列 Cell:显示单元体 Module:产品模组 五 道 光 罩 ARRAY CELL MODULE 投片,清洗,薄膜,黄光,蚀刻,测试 清洗,配向,框胶,热压,切裂,注入 磨洗贴,FPC,COG,點膠,组装, 烧机,F/I 五 道光 罩TFT-LCD 製程 一, TFT的製作 TFT循环制程图解1 上光阻(coating) 镀第一层膜 空白玻璃 酸A或 气体A 光罩 对准,曝光(stepping) 显影 液 显影(developing) 蚀刻(etching) TFT循环制程图解2 显 影 去光 阻液A 去光阻(striping) 镀第二层膜 上光阻 对准,曝光 光罩 显影 液 酸B或 气体B 蚀刻 TFT循环制程图解3 去光 阻液B 光阻剥离 镀第三层膜, 请依之前所 示范的方法 举一反三,自 行模拟想像 TI/AL/TI S-I-N TI/AL/TI PASSIVATION 1.镀上钛铝钛 合金(GATE) 厚度 800/1800/1000A 2.S : SiNx (氮硅化合物,绝缘层) I : a-Si (非结晶硅,通道层) N : N+ (含高浓度磷的硅)降低界面电位差,使 成为欧姆接触(Omic contact) 3.镀上钛铝钛合金(source,drain) 厚度 800/1800/1000A 4.镀上 5.镀上ITO(铟锡氧化物,透明画素电极 ) SiNx(氮硅化合物) 保护层(把金属部份盖住),並且做 VIA层(使电气信号导入panel) ITO 二, 什麼是CF?? 什麼是像素? 一个可以显示出所有颜色的单位称作: 画素---PIXEL 一个画素含有三分割--- (R,G,B) 每一个分割叫做子画素(SUB-PIXEL) 610 mm 720mm 早期的AV产品 亮度最高 适用于OA产品 最新的AV产品 R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R 马塞克(对角形) R G R G 条形 R G B R G B R G B R R G B R G R G B R G B R G B R 戴尔它(三角形) B 三, PI的製作 APR板 Polyimide配向膜涂覆 淡黄色 800~1200 ? 配 向 绒 布 PI膜配向:基板和 roller成45度角, TFT和CF基板方向差 90 度. Roller高速旋转时,绒毛上的纤维 会甩立起來,将PI膜刷出纹路 Rubbing的情况,类似于重铺柏油