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平面光学元件的加工技术 浙江大学光电信息工程系 曹天宁 宁波华光精密仪器有限公司 周柳云 光学平面零件包括棱镜、平行平面板、平面反光镜、平晶、光楔、光盘片基、滤光片、 波片、倍频器、液晶光屏平面等等。其大小从φ1mm到φ1000mm或更大,材料主要是光学玻 璃,有时是光学晶体,为了达到高精度与高效率,采用技术方法很多,有铣磨、精磨、研磨、抛 光、分离器抛光、环抛、水中抛光（BFP）、单点金刚石飞切(SPDFC)、计算机机控制小工具 抛修(CCP) 、离子抛光等等。 从机理上考察,可以归纳为三类基本方法 一、 范成法形成平面 特点是依靠机床的精确运动形成平面包络面,对机床精度要求高.如用筒状金刚石磨 轮铣磨平面,按形成球面正弦公式当α=0 时,R=∞范成了平面(生产上为了排屑排冷却液 方便, α 有一个小量,所以表面微凹)。单点金刚石飞切也是依靠高速旋转的轴上的飞刀 与作直线运动的工作台垂直而范成了平面.工具与工件的加工接触为线接触。这种方法， 生产效率按接触状态不算高，由于工具轴速度高所以生产效率变高，加工精度容易保持。 二、 轮廓复制法