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MEMS微变形反射镜校正波前静态畸变实验MEMS微变形反射镜校正波前静态畸变实验
第37卷第6期 红外与激光工程 2008年12月
V01.37No.6 InfraredandLaser Dec.2008
Engineering
MEMS微变形反射镜校正波前静态畸变实验
谭佐军1-一,陈海清1,康竞然1,张坤1
(1.华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北武汉430074;
2.华中农业大学理学院应用物理系,湖北武汉430070)
摘 要:微变形反射镜(MEMS.DMs)是用于自适应光学中波前校正的重要元件。对微变形镜波前
校正原理进行了分析,设计了基于自适应光学系统的测试系统,通过闭环控制技术成功地利用一种分
最大,是造成整个波面畸变的最重要的原因。MEMS-DMs对低阶渡前畸变校正较好,高阶波前畸变校
正时残余误差比较大。增加控制电极数量可以更好地校正高阶模式的波前畸变。基于自适应光学系统
的MEMS.DMs波前畸变校正实验系统,可以为今后全面优化设计微变形反射镜及其更适应自适应光
学系统的需要提供实验数据与理论支持。
关键词:自适应光学; 微变形镜; Zernike多项式;波前畸变
中图分类号:TN241文献标识码:A 文章编号:1007—2276(2008)06一1070—04
oncorrectiontothestaticwavefront
Experiment ability
aberrationofMEMS-DMs
TAN Kunl
Zuo-junl”,CHENHai-qin91,KANGJing-ranI,ZHANG
of ofScienceand
Optoelectromc University Technology。Wuhan430074,China;
(1.Department Engineering,Huazhong
of ofBasic 430070,China)
2.DepartmentApphedPhysics,CollegeSciences,HuazhongAgricultureUniversity,Wuhan
Abstract:MEMSdeformable a elementin
mirror(MEMS-DMs)isveryimportant adaptiveoptical
ofcorrectiontothestaticwavefrontaberrationofMEMS-DMswas
system.Theoryanalysis ability
basedon wasmadetotestthecorrectionof
experiment
described.Testing adaptiveopticssystem ability
MEMS·DMs the
control resultsshowthat wave
by technology experimental
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