原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
PVD 设备介绍chris
PVD 设备介绍;ULVAC PVD设备介绍
1-1 设备真空连接图
1-2 CP泵作动原理
1-3 各腔室区分介绍及内部构造原理
2. 注意事项
2-1 靶材绝缘测试
2-2 靶材预溅射
2-3 T/M距离
2-4 条件与物性关系
2-5 膜厚均一性
3. 异常检查及处理措施
3-1漏气检查及处理
3-2Particle增加处理方法
4.机台保养流程
4-1靶材更换作业流程
;; pc腔的结构： Glass放在旋转平台均热板上，两块成膜平台交替成膜，如一块成膜平台无需旋转，均热板可将加热丝的温度均匀扩散在Glass上，可避免膜质不均和电阻不均等 阴极磁铁在正常生产时左右移动，可以使电场方向运动均匀，膜厚也就均匀 ;T/M距离;漏气的检查方法;外漏测量法：氦测漏仪检查方式，可以准确的查找到漏点，从上往下检查，防止氦向上扩散，当检到一区域漏气时，为防止扩散还可以用纸包住一小区然后喷氦气，检得更准确
内漏测量法：阀门关不紧检查方法，将阀门关闭，Pump处于开启状态（如右图），观察Chamber内真空度变化，如果降低说明正常无漏，如果升高说明阀门有漏关不紧;靶材更换作业流程 ;CVD成膜介绍;2011/4/5;2011/4/5;2011/4/5;2011/4/5;2011/4/5;2011/4/5;PC腔介绍;PC腔介绍;PC腔介绍;CVD除害装置;CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY;CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY;CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY;CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY;CHINA STAR
OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY
文档评论（0）