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光伏电池生产工艺简介 单晶硅电池制作的过程 多晶的生产 单晶硅制作 方片制作 电池片制作 电池组件封装 应用安装 多晶硅的生产流程(西门子法) 石英砂在电炉中用碳还原(95-99%) SiO2+3C=SiC+2CO, 2SiC+SiO2=3Si+2CO 三氯氢硅的合成 Si+3HCl= H2 + SiH2Cl2 三氯氢硅的提纯 用分镏法去除SiH2Cl2, SiCl4, 杂质氯化物 用氢还原三氯氢硅 SiHCl3 +H2=Si+3HCl 单晶硅的生产 方片的加工 线切割加工工艺 电池片制作流程 电池片结构示意 预清洗工艺原理 利用清洗槽清洗硅片表面 去除表面油渍，沾污，金属污染 清洗液： NaOH+表面活性剂+纯水 加热，超声波 一次清洗工艺原理 表面织构化减少阳光反射 应用单晶硅各向异性化学腐蚀的方法在(100)表面制作倒金字塔状的绒面结构 表面倒金字塔结构 PN结形成 硅片周边刻蚀 等离子体（Plasma) 气体被加热到几千度以上的高温后, 气体中原子被电离成正离子和电子, 这 种状态的物质称为等离子体。 其显著特征是具有高温、高流动性,高 导电性和高能量性，极易与其它物质 相互作用。 等离子体刻蚀示意 等离子体刻蚀的工作原理 在低压下，反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体，等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团（Radicals） 活性反应基团和被刻蚀物质表面形成化学反应并形成挥发性的反应生成物 反应生成物脱离被刻蚀物质表面，并被真空系统抽出腔体。 二次清洗 清洗目的： 1.扩散过程中磷与二氧化硅反应成磷硅玻璃(PSG) P2O5+SiO2 PSG 2.扩散时产生的氧化硅膜 3. 周边刻蚀时产生硅的殘屑 清洗溶液：HF腐蚀 薄膜的减反射原理 减反射膜的制备 使用设备： 等离子增强型化学汽相沉积(PECVD) 化学过程 SiH4 + N2 +NH3 Si3N4+H2 工艺目的： 1.沉积减反射膜，增强光的吸收 2.表面钝化，减少表面活性，(passivation) 管式PECVD工作原理 电极制作过程 为什么要烧结？ 烧结曲线 链式烧结炉 电池的测量和分选 光伏电池的IV曲线 光伏电池的转换效率 η = 太阳电池的串联电阻Rs 太阳电池的填充因子 定义： FF= 参考 TRINA内部资料 Robo-tech内部资料 Yingli solar内部资料 谢谢请提问 短路电流Isc 开路电压Voc 最大功率Pmax Pmax 1000 电池面积 1平方米 ×　 100% 定义：太阳电池的最大输出功率与照到电　　池上的总幅射能之比 正面电极金属栅线电阻rmf 正面金属半导体接触电阻rc1 正面扩散层电阻rt 基区体电阻rb 背面金属半导体接触电阻rc2 正面电极金属栅线电阻rmb Rs=rmf++rt+rb++rmb 理论计算Rs约为4mΩ rc1 ,rc2与烧结工艺有关，（10－5到几十欧姆之间） Pmax Voc*Isc 组件生产工艺简介 组件线 又叫封装线 太阳能电池生产中的关键步骤 电池的封装使电池的寿命得到保证， 增强了电池的抗击强度。 流程图 * * 多晶装料 拉晶 原生晶棒 多晶装料 晶棒切断 测试片制作 品质测试 线切割 方棒加工 滾园 * * 一.太阳电池的工作原理 ——光生伏特效应 吸收光子，产生电子空穴对。 电子空穴对被自建电场分离，在PN结两端产生电势。 将PN结用导线连接，形成电流。 在太阳电池两端连接负载，实现了将光能向电能的转换。 预清洗 铝浆印刷 扩散 测试分选 一次清洗 二次清洗 等离子刻蚀 PECVD 银铝浆印刷 扩散 烘干 烘干 银浆印刷 烧结 背面铝电极 N型扩散层 P型硅片 减反射膜 正面银电极 Upside down Pyramid Structure NaOH 应用单晶硅各向异性化学腐蚀的方法 在(100)表面制作倒金字塔状的结构 * * 制备绒面的目的：减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。 陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。 陷光原理图示： * * (2)Diffusion磷扩散 扩散的目的：形成PN结(在晶体内部实现P型和N型半导体的接触)——太阳电池的心脏 * * 扩散炉装置示意图 * * POCl3磷扩散原理 POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。 比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，P