衬底温度对铝掺杂氧化锌薄膜生长及其微结构性能-中南民族大学学报.PDFVIP

34 3 ( ) Vol． 34 No． 3 第 卷第 期 中南民族大学学报 自然科学版 2015 9 Journal of South-Central University for Nationalities (Nat． Sci． Edition) Sep． 2015 年 月 衬底温度对铝掺杂氧化锌薄膜生长 及其微结构性能的影响 1 1 ，2 ， 首部 世良 陈 韦