TiAlN纳米复合涂层的技术进展.docx

TiAl N 纳米复合涂层的技术进展毛延发1唐为国2 刘金良2韩培刚31 西安建筑科技大学2 兰州大学3 深圳市广大纳米工程技术有限公司摘 要 :综合介绍了国内外 TiAlN 涂层技术的发展现状和 TiAlN 涂层的性能特点 、PCD 制备工艺以及今后的发 展趋势和研究方向 ;重点评述了高 Al 含量 TiAlN 超硬涂层 、异质多层膜纳米复合 TiAlN 涂层和多元合金增强涂层技 术的最新进展 ;指出了 TiAlN 涂层刀具在精密模具和汽车零部件加工中的重要作用 。关键词 : TiAlN , 超硬涂层 , 纳米复合涂层 , PVD 工艺 , 刀具 , 技术进展Technology Development of TiAl N Naro2composite CoatingsMao YanfaTang Weiguo Liu J inlianget alAbstract : The developing status of TiAlN coating technology in home and abroad and TiAlN coating’s performances , PVDprocess , technique developing trends and study aspects are introduced synthetically. The updated development of TiAlN superhard coatings with higher Al content , naro2composite TiAlN coatings with heterogeneity multi2films and the multi2alloy2reinforced coating technology are reviewed emphatically. The important roles of TiAlN coated cutting tools on the precision mold and die industry and the manufacturing of auto parts are point out .Key words :TiAlN , superhard coating , naro2composite coating , PVD process , cutting tool , technology developmentTiAlN 涂层表示出极大的关注 。1 引言在过去二十多年中 ,采用物理气相沉积 ( PVD) 涂层技术对金属材料进行表面改性已取得了很好的 使用效果 ,TiN 硬质涂层在工具行业的广泛应用就 是明显的例子 。然而 , TiN 涂层在高温条件下抗氧 化 、抗扩散磨损能力等方面的不足却限制了它的进 一步发展 。于是 ,各国纷纷着手开发新型纳米复合 涂层技术 ,将氮化物 、碳化物 、氧化物和硼化物组合 起来 ,组成种类繁多的复合型化合物和固溶体涂层 , 如 ( Ti ,Zr) N 、( Ti ,Mo) N 、( Ti , Si ) N 等 ,以满足切削技 术的发展对刀具涂层性能日益提高的要求 。在各种新型复合硬质涂层中 , 以 TiAlN 涂层的 产业化发展最为成熟 。已见的三元系 ( Ti ,Al ) N 涂 层主要由 ( Ti ,Al ) N (fcc) 相组成 , 此外还有 ( Ti2Al ) N( hcp ) 、( Ti15Al ) N ( hcp ) 和 ( Ti3Al ) N ( CuTiO3 结构) 1 。 在 TiAlN 晶体薄膜中 ,Al 原子置换 TiN 中的一部分Ti 原子后使晶格发生畸变 。晶格畸变度大的涂层 ,一方面晶界增多 ,另一方面位错较多且不易滑移 ,从 而导致涂层硬度的提高2 。同时 ,Al 元素还大大降低了 TiN 涂层在高速切削时的氧化磨损 ,当刀具/ 工件接触区温度超过约 749 ℃时 , 涂层的外表面转化 为氧化铝 ,可以阻止进一步氧化 ,并能在刀具/ 工件 接触区产生高温时起到保护刀具的作用 ,从而延长刀具 寿 命 。因 此 , 目 前 国 内 外 对 综 合 性 能 优 异 的2 国内外 TiAl N 涂层技术的发展现状211工具涂层发展概况目前全球切削工具的市场规模约为 100 亿美。随着制造技术的高速发展 ,汽车 、模具行业等元3工具需求大户 ( 用量超过 70 %) 对刀具的切削性能提出了更高要求 ,而高转速 、小切深 、大进给的加工 技术要求则给 TiAlN 涂层提供了广阔的应用空间 。在国外某些规模较大的机械加工企业中 ,涂层刀具已占到全部使用刀具的 85 % 。在刀具技