园援远耀员援缘缘滋皂可见辕近红外超宽带增透膜的研制-中国光学.pdfVIP

第缘卷摇 第猿期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援缘摇 晕燥援猿 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员圆年远月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 允怎灶藻圆园员圆 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员圆冤园猿鄄园圆苑园鄄园苑 园援远耀员援缘缘滋皂可见辕 近红外超宽带增透膜的研制 鄢 杨道奇袁付秀华 袁耿似玉袁杨永亮袁潘永刚 渊长春理工大学光电工程学院袁吉林长春员猿园园圆圆冤 摘要院针对可见辕 近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求袁选择栽蚤韵 尧酝员和杂蚤韵 分别作为高尧中尧低折射率镀膜材圆 圆 料袁通过不同方案对膜系进行了优化设计和比较遥 采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术袁通过不断调整工艺参数袁得 到了光学性能优良尧制备重复性好尧牢固度强且致密的可见近红外宽带增透膜遥 该增透膜在渊远缘园依员园冤 灶皂尧怨园园耀 员员园园灶皂和渊员源苑园依员园冤灶皂三波段内平均透过率逸怨怨豫袁在远圆园耀员缘缘园灶皂宽波段内整体平均透射率逸怨苑豫袁满足了光 谱仪探测器窗口的实际使用要求遥 关摇 键摇 词院光学薄膜曰宽带增透膜曰电子束蒸发曰离子束辅助沉积 中图分类号院韵源愿源援源摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员圆园缘园猿援园圆苑园 阅藻泽蚤早灶葬灶凿枣葬遭则蚤糟葬贼蚤燥灶燥枣园援远原员援缘缘 滋皂增蚤泽蚤遭造藻辕灶藻葬则蚤灶枣则葬则藻凿 怎造贼则葬鄄遭则燥葬凿遭葬灶凿葬灶贼蚤则藻枣造藻糟贼蚤燥灶糟燥葬贼蚤灶早泽 鄢 再粤晕郧阅葬燥鄄择蚤袁云哉载蚤怎鄄澡怎葬 袁郧耘晕郧杂蚤鄄赠怎袁再粤晕郧再燥灶早鄄造蚤葬灶早袁孕粤晕再燥灶早鄄早葬灶早 渊杂糟澡燥燥造燥枣韵责贼燥藻造藻糟贼则燥灶蚤糟耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁悦澡葬灶早糟澡怎灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣 杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园圆圆袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院早燥责贼蚤糟泽岳员圆远援糟燥皂 粤遭泽贼则葬糟贼院粤泽枣燥则贼澡藻燥责藻则葬贼蚤灶早则藻择怎蚤则藻皂藻灶贼泽燥枣泽责藻糟贼则燥皂藻贼藻则凿藻贼藻糟贼燥则憎蚤灶凿燥憎泽燥责藻则葬贼蚤灶早枣则燥皂增蚤泽蚤遭造藻贼燥贼澡藻蚤灶鄄 枣则葬则藻凿泽责藻糟贼则怎皂袁贼澡藻栽蚤韵 袁酝员葬灶凿杂蚤韵 憎藻则藻糟澡燥泽藻灶葬泽糟燥葬贼蚤灶早皂葬贼藻则蚤葬造泽憎蚤贼澡凿蚤枣枣藻则藻灶贼则藻枣则葬糟贼蚤增藻蚤灶凿藻曾藻泽葬灶凿 圆 圆 憎藻则藻凿藻泽蚤早灶藻凿蚤灶贼燥枣蚤造皂泽贼葬糟噪泽遭赠增葬则蚤燥怎泽泽糟澡藻皂藻泽援 月赠怎泽蚤灶早藻造藻糟贼则燥灶遭藻葬皂藻增葬责燥则葬贼蚤燥灶憎蚤贼澡蚤燥灶遭藻葬皂葬泽泽蚤泽贼 凿藻责燥泽蚤贼蚤燥灶袁贼澡藻增蚤泽蚤遭造藻辕灶藻葬则蚤灶枣则葬则藻凿怎造贼则葬鄄遭则燥葬凿遭葬灶凿葬灶贼蚤则藻枣造藻糟贼蚤增藻 糟燥葬贼蚤灶早泽憎蚤贼澡藻曾糟藻造造藻灶贼燥责贼蚤糟葬造责则燥责藻则贼蚤藻泽袁 早燥燥凿则藻责藻贼蚤贼蚤燥灶葬灶凿枣蚤则皂灶藻泽泽憎藻则藻责则藻责葬则藻凿遭赠责葬则葬皂藻贼藻则葬凿躁怎泽贼皂藻灶贼援 栽澡藻葬增藻则葬早藻贼则葬灶泽皂蚤贼贼葬灶糟藻泽燥枣贼澡藻泽藻糟燥葬贼鄄 蚤灶早泽葬则藻遭藻贼贼藻则贼澡葬灶怨怨豫 葬贼渊远缘园依员园冤灶皂袁怨园园原员员园园灶皂葬灶凿渊员源苑园依员园冤灶皂袁葬灶凿遭藻贼贼藻则贼澡葬灶怨苑豫 蚤灶 远圆园原员缘缘园灶皂葬泽葬憎澡燥造藻援 陨贼皂藻藻贼泽贼澡藻葬糟贼怎葬造则藻择怎蚤则藻皂藻灶贼泽燥枣贼澡藻泽责藻糟贼则燥皂藻贼藻则凿藻贼藻糟贼燥则憎蚤灶凿燥憎泽憎藻造