011微米DRAM+BPSG空间问题的解决研究.pdfVIP

0．1l微米DRAM制造中BPSG空洞问题的研究 目 录 摘要 Ⅲ ABSTRACT …．V 第一章概述 7 §1．1课题背景………………………………………．7 §1．2动态随机存储器(DRAM)的简单介绍……………………8 §1．3选题的目的和意义………………………………．10 §1．4论文的主要内容…………………………………11 第二章BPSG作为层间隔绝材料的工艺流程和对半导体性能的影响……。12 §2．1BPSG的制造工艺流程……………………………．12 §2．2BPSG在先进集成电路制造工艺中的挑战………………14 §2．3BPSG性能在DRAM电路系统中的检测…………………16 §2．4课题所需半导体制造工艺简介……………………．．17 第三章半导体中DOE