- 1、本文档共26页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
第十二章 高分辨透射电子显微术第十二章 高分辨透射电子显微术
第二篇 材料电子显微分析 第八章 电子光学基础 第九章 透射电子显微镜 第十章 电子衍射 第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析 第十二章 高分辨透射电子显微术 第十三章 扫描电子显微镜 第十四章 电子背散射衍射分析技术 第十五章 电子探针显微分析 第十六章 其他显微结构分析方法 第十二章 高分辨透射电子显微术 高分辨电子显微术是材料原子级别显微组织结构的相位 衬度显微术,利用该技术可使大多数晶体材料中的原子串成 像,称为高分辨像 图12-1为面心立方结构的Si晶体沿[0 0 1]方向的高分辨像,其 中白色亮点为Si 原子串的投影位置 第十二章 高分辨透射电子显微术 本章主要内容 第一节 高分辨透射电子显微镜的 结构特征 第二节 高分辨电子显微像的原理 第三节 高分辨透射电子显微镜在 材料科学中的应用 第一节 高分辨透射电子显微镜的结构特征 透射电子显微镜按其功能特点和主要用途可分为: 生物型 特点是提供高衬度,加速电压一般低于120kV,主 要用于生物、医学领域 分析型 特点是样品台具有较大的倾角, 加速电压要高于 120kV,此外要有配备 EDS 等附件的能力, 可实 现微观组织、晶体结构和微区成分的原位分析,主 要用于材料科学、物理、化学等领域 高分辨型 特点是具有高分辨率,点分辨率应优于0.2nm, 用于观察和分析晶体缺陷、 微畴、 界面及表面 处的原子排列,加速电压在200kV或以上,应用 领域与分析型电镜相同 上述三类电镜主要因物镜极靴结构的差别, 从而使物镜球 差系数CS不同,减小CS是提高分辨率的途径之一 第二节 高分辨电子显微像的原理 一、样品透射函数 用样品透射函数q(x,y),以描述样品对入射电子波的散射 q(x, y) = A(x, y)exp[iφt(x, y)] (12-2) 式中,A(x, y)是振幅,且 A(x, y) = 1为单一值; φt(x, y)是相 位,样品足够薄时,有 (12-8) 式中,? = ? /?E为相互作用常数。上式表明,总的相位移动 仅依赖于晶体的势函数V(x, y, z)。忽略极小的吸收效应,则 q(x, y) = 1 + i? Vt(x, y) (12-10) 这就是弱相位体近似, 弱相位体近似表明, 对于非常薄的 样品, 透射函数与晶体的投影势呈线性关系, 且仅考虑晶 体沿z方向的二维投影势Vt(x, y) 第二节 高分辨电子显微像的原理 二、衬度传递函数 电子波经过物镜在其背焦面上形成衍射花样的过程,可用衬 度传递函数表示 A(u) = R(u) exp[i?(u)] B(u) C( u ) (12-11) 式中, u 是倒易矢量; R是物镜光阑函数;B和C分别是照明 束发散度和色差效应引起的衰减包络函数; ? 是相位差 ?(u) = ??f ? u2 + 0.5?Cs?3u4 (12-12) 物镜球差系数Cs和离焦量?f 是影响sin?的两个主要因素 在最佳欠焦条件下, sin? 曲线上绝对值为 1 的平台 (通带) 最 宽,称此为Scherzer欠焦条件,此时点分辨率最佳 sin? 能否在倒易空间一个较宽的范围内接近于?1,是成像最 佳与否的关键条件 第二节 高分辨电子显微像的原理 二、衬度传递函数 JEM 2010透射电镜在加速电压为200kV、Cs = 0.5mm、 ?f = ?43.3nm(最佳欠焦条件)时, 其sin? 函数见图12-2,点 分辨率为0.19nm (曲线与横轴的交点u = 5.25nm-1处) 第二节 高分辨电子显微像的原理 三、相位衬度 电子波穿
您可能关注的文档
- 第八单元第三章保护生物的多样性A第八单元第三章保护生物的多样性A.pdf
- 第八单元:护理英语第八单元:护理英语.ppt
- 第八周——文字处理(设计制作东方绿舟入场券)第八周——文字处理(设计制作东方绿舟入场券).ppt
- 第八套试卷答案(行测)第八套试卷答案(行测).pdf
- 第八届中国大学生服务外包创新创业大赛参赛手册3.30第八届中国大学生服务外包创新创业大赛参赛手册3.30.pdf
- 第八章 服务业价格第八章 服务业价格.ppt
- 第八章 教育法的基本内容第八章 教育法的基本内容.ppt
- 第八章 IP网络的管理第八章 IP网络的管理.ppt
- 第八章 互惠掉换(swap)(金融工程-安徽财经大学,邓留保)第八章 互惠掉换(swap)(金融工程-安徽财经大学,邓留保).ppt
- 第八章 运输条款第八章 运输条款.ppt
- 人教版初中英语八年级下册 Unit 3 Could you please clean your room Section B(2a-2e).pptx
- 人教版初中英语九年级全册Unit 10 You're supposed to shake hands Section A 2a-2c.pptx
- 5.3一元一次方程的应用-2024-2025学年北师大版(2024)初中数学七年级上册.pptx
- 人教版英语八年级下册Unit7 What's the highest mountain in the world Section A 3a-3c.pptx
- 1.4.1整式的乘法(第一课时)-2024-2025学年人教版初中数学八年级上册.pptx
- 统编版小学语文六年级上册《昆虫记》名著导读.pptx
- 北师大版七年级上册数学《有理数的混合运算》有理数及其运算说课研讨复习教学课件.pptx
- 苏教版三年级上册数学《认识几分之一》分数的初步认识研讨说课复习课件.pptx
- 人教版八年级上册数学《分式的加减》分式教学说课复习课件.pptx
- 冀教版四年级上册数学《升和毫升》说课教学复习课件巩固.pptx
文档评论(0)