扩散泵工作区域扩展的探索研究.pdfVIP

扩散泵工作区域扩展的探索 任倬 上海曙光机械制造厂 摘要：本文介绍通过研黼扩散增压泵以扩展传统扩散泵高压强段工作区域的探索，详细介绍了扩散增压系研 帝j过程中获取的抽气能力调试各类数据。并试图探索及掌握影响扩散增压泵抽气能力的各类因素，以满足其增大抽 气重的需要。 关键词：扩增泵 高压强段抽速扩展工作区域 一、前盲 油扩散泵的应用量大面广，对各类气体都能有效抽气，还具有成本低、无振动噪音、使用及维护保养方便 等优点，但其工作区域，尤其是高压强段抽气范围，却受很大局限。 问题的提出在于一些大放气量的真空镀膜设备如磁控溅射镀膜机、卷绕式真空镀膜机等，特别是后者，其工 范围内要有较大的抽速，且极限真空要优于lO—aPa。传统的油扩散泵，一般在lo-3一l旧a一个半数量级范围 内保持最大值抽速，其抽速曲线的恒定满抽速段普遍延伸至7×lO-2|Pa左右(凸腔泵还要差一些)。如进气口 压强超过临界范围，便会导致油蒸汽射流的破坏，抽速曲线开始急剧衰减。而油增压泵虽能在10-1一10Pa约 二个半数量级内具备有效的抽速，但l旧a范围抽速太差，更欠缺的是极限真空只在lo_2Pa水平。这就使得 设计镀膜机时在真空系统的真空泵选配上，为如何兼顾真空度和抽气效率而颇费踌躇。 显然，这一问题的解决不是扩散泵或油增压泵所能单独胜任的，只能设法如何兼顾其在真空度和抽气量 方面的各自优势。也正由于此，提出了在原有扩散泵的基础上进行扩展其抽气范围的设想。其主要手段是以 扩散泵抽气特性为出发点，参照扩散泵和油增压泵各自性能和结构特点，增强其高压强段抽速，扩展延伸抽 气曲线。如此改进的泵种我们称其为扩散增压泵。近年来我们研制出并大量用于镀膜设备的大口径扩增泵 (Kz系列)有巾600、巾530、耷800三种，在性能调试中获得了较多的有益数据，也积累了一些经验。 二、扩增泵的设计构思 所谓的扩展高压强段抽速，从实践上来说是2个目标：1．不使高压强段的抽速急降至零，形成一渐降的 抽速曲线；2．尽可能减小该曲线的下降斜率。 分析其特性，从原扩散泵基础上的改型，可考虑从三方面着手：1．改进喷嘴结 构。要抽除高压强段的大负载量气体，传统扩散泵的喷嘴结构显然不能胜任。除了 改变各喷嘴喉部面积、扩张率等参数以适应锅炉压强提高的变数外，还将原直筒状 喷射喷嘴改为拉瓦尔喷嘴和和与之相配的扩压管(见图1)，以产生较强的正激 波，大大提高排气口处的气体携带能力；2．加大加热功率。加大功率的目的是提高 锅炉压强，从而在相同的扩张率下各级喷嘴出口处有较高的油蒸汽压，能形成更强 的油蒸汽射流；3．换用泵液。泵液的换用是试图在相同的加热温度下，大大增加锅 炉内油蒸汽的饱和蒸汽压，但该举目前还受很大局限，备选品只有增压泵油和普通 瞰l堋牛●姐年确—lr埘●精 一15一 扩散泵油，前者饱和蒸汽压过高，极限真空受到限制，即使采取分馏措施效果也不佳，不能进入10。3Pa。后者 极限真空虽高，但高温下油蒸汽压过低，锅炉压强不理想，高压强段抽速要受很大损失。较理想的是常温下 饱和蒸汽压比扩散泵油高一个数量级左右，但高温下油蒸汽压多向油增压泵油靠拢，兼备二类泵油特性的 油种。这类产品国外以有一些可备选，国内则祈望扩散泵油厂家能早开发推出新品。 无论抽气机理或泵的具体结构，扩增泵都兼备了以扩散携带为主的扩散泵和以粘滞携带为主的油增压 泵的特点。在其较宽的工作范围中，抽速曲线的二段不同走向可表征这一特性。 图2所示，无论扩增泵或扩散泵，抽速曲线基本可分为二个区域：以4×104Pa为分界点，左边为低压强 段，右边为高压强段，由图可见，二个区域的抽速呈现出完全不同的走势。 2500 2 ／、 —— ＼ 夕／二二 ≮ ／ j ／ ，／ __