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第35卷,增刊 红外与激光工程 2006年10月
V01.35 InfraredandLaser 0ct.2006
Supplement Engineering
偏振光斯托克斯参量的测量和应用
程敏熙,何振江,黄佐华
(华南师范大学物理与电信工程学院,广东广州510006)
摘要:斯托克斯参量可全面描述光束的偏振态,分析了偏搌光的斯托克斯参量的意义及其测量方法.通
过测量纳米级薄膜样品的入射和反射偏振光的斯托克斯参量,求得椭偏参量帅A,然后求得薄膜样品的厚度
和折射率.实验表明,该方法适用于任何偏振态的入射和反射偏振光,测量系统构建较容易,测量结果与目
前常用的椭偏消光法接近。
关键词:斯托克斯参量; 椭偏参量; 薄膜测量
中图分类号:0436.3 文献标识码:A 文章编号:1007.2276(2006)增B一0109.07
Measurementand ofstokes of
applicationparameterspolarizedlight
、CHENGMin—xi,HE Zuo—hua
Zhen-jiang,HUANG
,
of and China
(School Telecommunication Normal
Physics Engineering,SouthUniversity,Guangzhou510006,China)
Abstract:Polarizedcanbedescribed StokesParameters.The of
Stokes
light completelyby physicalsignificance
are
Parametersandtheir me出odstudied.The allano-meterfilmcallbe
testing e11ipsometryparameters(1;f,;△)of
measured theStokesParametersofincidenceandreflection thethicknessandrefractive
bytesting light.Then index
ofthe canbeobtained.The showsthat
sample experiment thismethodissuitabletoany stateofincidence
polarized
andreflection Canbeset testedresultsisclosetotheonefromthe
fight,theexperimentalsystem upeasily,the
withextinction.
ellipsometer
words:Stokes film
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