复晶矽锗薄膜之成长与元件应用.PDFVIP

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  • 2018-06-06 发布于天津
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复晶矽锗薄膜之成长与元件应用

毫 微 米 通 訊 複晶矽鍺薄膜之成長與元件應用 1 2 陳坤明 、張俊彥 1 2 國家毫微米元件實驗室、 國立交通大學電子研究所 一、前言

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