亚波长浮雕结构的红外抗反射研究.PDFVIP

2000 12 J. Infrared M illim. Waves December, 2000 * 陈思乡　易新建　曾延安　陈四海 , , , 430074) 基于等效媒质理论, 对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究. 给出了二维对称的抗反射浮雕结 构等效光学参数的估算方法. 提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念. 利用离子束刻蚀工艺技术, 在 片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案. 测试结果表明, 这种表面结构像单层抗反射膜一样, 具有很好的增 Si 透效果, 表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率, 而刻蚀深度则相当于镀层的1/ 4 波长厚度. 抗反 , 亚波长结构, 二元光学. BINARY SUBWAVELENGTH RELIEF STRUCTURES * FOR INFRARED ANTIREFLECTION