激光制备纳米级氮化硅粉末工程的综合控制.pdfVIP

l甲日理.公双论文级》，917-920 199.年，月16-22日，浙江宁波 激光制备纳米级氮化硅粉末工程*的综合控制 陈荣保 张崇巍 张晓江 董学平 (合肥工业大学工业自动化研究所 230009) 引言 在大功率激光束的持续激发下，硅烷(SiH4)与t{(NH3)可在无氧的环境中合成纳米级氮 化硅粉末，这种物质是面向未来的新型材料，可称为二十一世纪材料的 味“精”.在剧烈 的合成过程中控制整个装置上各主要设备(阀门等)的启闭、控制原料的配比及合成室的压 力、温度、流盆等参数，对获得高品质的产品一氮化硅极为重要;在连续生产过程中，整 个装置上的所有设备运行状态、各保护介质(如水、气)的供给状态、关键管道的保护监视等 对氮化硅的合成乃至收集包装是不可缺少的.为此，为使中试工程得以成功运行，在这项 工程中采用集散控制手段，并与可编程控制器PLC和智能控制仪表联网、以仪表系统为热 备、全套手动操作系统支持，配合有一套电视监视系统.由此构成的SN101工程集散控制 系统不仅控制了具有非线性、随机性、不确定性和时变性的对象，同时保障了工程的安全 性和可靠性.在本系统的支持控制