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电解液组成对电沉积纳米ZnO薄膜结构及性能的影响 221 电解液组成对电沉积纳米ZnO薄膜结构及性能的影响 秦秀娟1’2。孙丽1，卜丽敏1。孙学亮1。左华通1，韩司慧智1 [摘要]以硝酸锌水溶液、醇水溶液、表面活性剂叩一lO水溶液及醇水叩一10混合液作电解液，采用阴极恒电流法，在透明导 电玻璃(rID)衬底上沉积制备出了Zig)薄膜。研究了电沉积过程中电解液组分对薄膜的形成、结构和性能的影响。通过对电解液阴 极极化曲线、薄膜x射线衍射的分析得出：乙醇和表面活性剂的加入使阴极极化增加，晶粒细化，薄膜内应力减小，薄膜结晶质量提 高；原子力显微镜观察显示加入乙醇和表面活性剂后薄膜表面粒径更加均匀，粗糙度减小；光学性能溅试表明：添加乙醇和表面活性 剂后薄膜在紫外光区的吸收更强且宽泛，吸收峰发生红移，在可见光区的透过率大幅度增加。 [关键词】 电解液电沉积Zn0薄膜阴极极化 the of Effectof on structureand