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(1)表面形貌衬度 利用与样品表面形貌比较敏感的物理信号作为显像管的调制信号，所得到的像衬度称为表面形貌衬度。二次电子信号与样品表面变化比较敏感，而与原子序数没有明确的关系，其像分辨本领也较高,通常用它来获得表面形貌图像。 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 δ ∝ 1/cosα (1)表面形貌衬度 利用与样品表面形貌比较敏感的物理信号作为显像管的调制信号，所得到的像衬度称为表面形貌衬度。二次电子信号与样品表面变化比较敏感，而与原子序数没有明确的关系，其像分辨本领也较高,通常用它来获得表面形貌图像。 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 由于作用体积的存在，在断口峰、台阶、突出的第二相粒子处的图像特别亮。 (1)表面形貌衬度 背散射电子信号也可以用来显示样品表面形貌，但对表面形貌的变化不那么敏感，分辨率不如二次电子像高，有效收集立体角小，信号强度低，尤其是背向收集器的那些区域产生的背散射电子不能到达收集器，在图像上形成阴影，掩盖了那里的细节。 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 (2)原子序数衬度(化学成分衬度) 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 利用对样品微区原子序数或化学成分变化敏感的物理信号作为调制信号得到的一种显示微区化学成分差别的像衬度。这些信号主要有背散射电子、吸收电子和特征X射线等。 1)背散射电子像衬度 背散射电子信号强度随原子序数Z增大而增大，样品表面上平均原子序数较高的区域，产生较强的信号，在背散射电子像上显示较亮的衬度。因此，可以根据背散射电子像衬度来判断相应区域原子序数的相对高低。 (2)原子序数衬度(化学成分衬度) 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 利用对样品微区原子序数或化学成分变化敏感的物理信号作为调制信号得到的一种显示微区化学成分差别的像衬度。这些信号主要有背散射电子、吸收电子和特征X射线等。 (2)原子序数衬度(化学成分衬度) 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 利用对样品微区原子序数或化学成分变化敏感的物理信号作为调制信号得到的一种显示微区化学成分差别的像衬度。这些信号主要有背散射电子、吸收电子和特征X射线等。 2)吸收电子像衬度 吸收电子信号强度与二次电子及背散射电子的发射有关，吸收电子像的衬度是与背散射电子像和二次电子像互补的:衬度相反。 奥氏体铸铁的显微结构 背散射电子像 吸收电子像 1 水泥和混凝土 水泥和混凝土材料大多比较松散，气孔多，利用扫描电镜成像比较直观，立体感强，使之有利于观察水泥熟料、水泥浆体和混凝土中各晶体或胶凝体的空间位置、相互关系以及结构特点等，此外，扫描电镜样品制备比较方便，所以，它在上述方面的研究有着更宽广的前景。但如果样品在真空中发生晶体变化(主要是由于脱水造成的)，则不如用复型法效果好。 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.5 应用 上海金山水泥厂水泥熟料SEM像 上海金山水泥厂熟料SEM图 纤维与水泥石胶结SEM像 C2S水化1d SEM像 C3S水化1d SEM像 图为C3A水化1d的SEM像 图为C4AF水化1d的SEM像 水化硅酸钙显微像 2 金属 扫描电镜因其景深大，特别适用于断口分析。新鲜金属断口可直接放入电镜进行观察，既简单又不致在制备过程中引入假象；扫描电镜允许在很宽的倍率范围内连续观察，可以对断口进行低倍(约10倍)大视域观察，并在此基础上确定感兴趣的区域(例如裂纹源)进行高倍观察分析，显示断口形貌的细节特征，揭示断裂机理。 金属断口种类很多，现仅以疲劳断口为例来说明扫描电镜在这方面的应用。 3 复合材料  在观察和分析复合材料的显微组织时，采用深浸的方法把基本相溶到一定的深度，使待观察的相暴露于基体之上，充分利用扫描电镜景深大的特点，可获得其他显微镜所无法解决的三维立体形态的显示，为进一步分析组成相形成机理及其三维立体形态特征提供了一种有效的方法。图4-75即为一例。 金属疲劳断口显微图象 氧化铀基钨纤维复合材料 ZnO晶体和尖晶石晶体 热压SiC纤维补强微晶玻璃拉伸断口 热压SiC纤维增强Si3N4复合材料SEM SiC纤维增强复合材料界面SEM 4.3 扫描电子显微镜 SEM 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 样品制备非常方便，直接观察大块试样 景深大放大倍数连续调节范围大分辨