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薄膜材料与技术-10 课件
薄膜材料与技术
(10)
李美成
2006秋季学期
1
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第10章薄膜的结构与缺陷
10.1 薄膜的结构
10.2 薄膜的缺陷
10.3 薄膜结构与组分的分析方法
薄膜材料与技术
薄膜材料与技术 2
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薄膜的结构与缺陷在一定程度上
决定着薄膜的性能,因此对薄膜
结构与缺陷的研究一直是大家十
分关注的问题。
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薄膜材料与技术 3
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10.1 薄膜的结构
薄膜结构因研究对象不同可分为三种类
型:
(1)组织结构;
(2 )晶体结构(薄膜中微晶的类型);
(3 )表面结构。
薄膜材料与技术
薄膜材料与技术 4
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1.薄膜的组织结构
薄膜的组织结构是指它的结晶形态。分为四种
类型:无定形结构、多晶结构、纤维结构和单
晶结构。
(1)无定形结构
从原子排列情况来看它是一种近程有序结构。
就是在2∼3 个原子距离内原子排列是有秩序
的,大于这个距离其排列是杂乱无规则的。
这种结构显示不出任何晶体的性质。这种结构
有时称为非晶结构或玻璃态结构(或无序结
构)。
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无定形结构中包含有两类结构,一类称无定形结
构,另一类称类无定形结构。
前一类也常称为无序结构。原子排列是近程有
序,远程无序,显示不出任何晶体的性质。也称
为玻璃态。例如,各种阳极氧化物薄膜。
后一类结构是由无规排列的极其微小的(
2nm )晶粒所组成。由于其晶粒极其微小,衍射
图象发生严重弥散而类似于无定形结构。
属于这类结构的有
①高熔点金属薄膜
②高熔点非金属化合物薄膜
③碳,硅、锗的某些化合物薄膜
④两不相容材料的共沉薄膜。
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无定形
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