光电材料及器件制备技术.docVIP

宁波大学研究生2015 -2016学年第（1）学期期末考试试卷 考试科目： 光电材料及器件制备技术 课程编号：1436022、1446042 姓名： 牛棚楷1511082699 阅卷教师： 成绩： 飞秒激光在毛细管中微结构研究 本文对双光子加工技术在玻璃毛细管中微型结构图案进行了研究与分析从双光子加工技术的原理入手，了玻璃毛细管中的加工工艺并结合微加工的操作流程总结出在玻璃毛细管中制微结构的具体操作方法。研究在玻璃毛细管中制作出正方体与三棱锥等立体结构阵列利用氦氖激光器测量了光学现象最后毛细的理论基础和发展应得出关键词: 双光子加工 微型立体衍射 飞秒激光双光子微加工技术 飞秒激光双光子聚合是三维微结构制造的关键工艺，因为它能产生几何形状却没有拓扑缺陷，并且有着小于100nm的分辨率，它是兵工厂非传统精密加工在科学上可行的一种独一无二的技术，虽然关于第一个由多光子吸收引起的聚合的科学文献己经是四十年前的事情了，它是1997年Kawata和他的工作者建立了关于双光子聚合作为一种三维微结构加工制造的一种关键技术。从此以后，研究双光子聚合的人数急剧上升。允许研究者在不同的领域（比如纳米光子，微电子学，生物工程）来建立和使用不同的以前传统微加工方法不能制备的器件。 一个分子要达到它的激发态可以吸收一个合适波长的光子或者同时吸收两个光子，每一个含有跃迁所需一半的能量，在这种情况下，双光子吸收被说成是退化的，当光子促进跃迁具有不同的能量（波长），这种过程是非退化的。（多光子吸收），因为双光子聚合实验的设置简单，所以很多技术的应用都用到了这种技术。大多数分子的双光子截面非常小，通常近似为1GM或者更小，1GM表示10-50cm4/光子（GM为了纪念在理论上预见了双光子吸收的科学家），结果，促进双光子吸收需要很高的本地光子流量，市售的Ti红宝石激光发出的波长在近红外光谱的并且能产生脉冲宽度小于100fs的激光能满足这个要求。每个脉冲有近似千瓦的功率，当典型的重复频率在80MHZ的时候它的平均功率为毫瓦级别，经过聚焦，这些激光能达到双光子吸收所需的光子密度。 图1 在单光子聚合过程中，光束在达到焦聚前经常会发生非线性衰减，所以只有第一层光刻胶（光刻材料）被聚合，当源光密度增加时，在光轴上的材料都会发生聚合(图2a)。当能量过高的话也可能会把材料烧坏，无论是哪种方式，因为单光子吸收缺少聚合的控制而使它在三维微结构制造上受到了限制，相反的，双光子吸收能使聚合发生在聚焦的区域(图2b)。 图2 双光子聚合过程中分子的选择性激发克服了在焦点附近的物质转换的空间局限，如果光刻胶能够被双光子吸收所固化，具有亚微米分辨率的三维微结构能够通过精确的激光焦点定位而制作出来，因为固化和没有固化的溶解参数不一样，没有发生聚合反应的材料能够被清洗从而制造出独立的结构。图3展示了双光子反应所需的三个主要步骤，为了看得更清晰，图中的参数都被放大了。 图3 因为光刻胶的折射率在聚合反应的过程中会发生变化，双光子进程能够用白光显微镜进行实时检测，进程中的任何失败都能够被实时检测和改正，虽然微结构的细节不能够被观察，此外，三维的视觉也不可能，因此在实验中，经常用扫描电镜来观察微结构的几何形状和表面粗糙度。图4是用双光子微加工技术和微加工台上加工出来的微结构拍摄的SEM图。为了反映样品的整体拓扑，样品倾斜了45度。 图4 玻璃毛细管中微结构 近年来，或是阵列图案到共轴球面光学的成像理论研究中0.1mm~1mm之间，在其内部设置微结构难度极大，因此亟需发明出一种简便可行，容易操作的在玻璃毛细管中制备微结构的方法。另一方面，飞秒激光双光子微加工技术具有加工精度高，热效应小，无掩模，灵活性高，且能真正实现三维微加工等优点而成为目前最具欢迎的微加工技术手段之一，近年来在生物工程，航空航天，国防等领域得到了快速的发展和广泛的应用。 在玻璃毛细管中制备微结构利用飞秒激光双光子微加工技术，加工速度快，精度高，灵活性强，可在玻璃毛细管中制备各种微结构，且制备过程简单易操作。同时实现了在玻璃毛细管中设置微结构，从而增加了玻璃毛细管的用途，扩大了玻璃毛细管的应用领域。 通过不断实验探索我们得出了如图5所示 1）在玻璃毛细管清洗干净并且注入光刻胶； 2）打开飞秒激光器和微加工工作台，将飞秒激光器锁模之后导入到微加工工作台中，将内部注满光刻胶的玻璃毛细管横向固定于微加工工作台的三维移动平台上； 3）进行第一步调焦，使飞秒激光器的焦点落在玻璃毛细管水平宽度的正中心位置； 4）进行第二步调焦，使飞秒激光器的焦点落在玻璃毛细管内的光刻胶上； 5）进行第三步调焦，使飞秒激光器的焦点落在玻璃毛细管的底壁与光刻胶的交界处； 利用控制软件控