预处理工艺对制备多孔阳极氧化铝膜的影响.pdf

200 5年上海市电镀与表面精饰学术年会论文集 预处理工艺对制备多孔阳极氧化铝膜的影响 杨培霞安茂忠 哈尔滨工业大学应用化学系，黑龙江哈尔滨150001 摘要：铝在阳极氧化前需进行预处理。常规的预处理工艺包括高温退火、除油、除氧化层、电化学抛光等过程，操 作复杂并且非常耗时。本文对铝的预处理工艺进行了研究，详细探讨了高温退火、除油及电化学抛光等对多孔阳极氧 化铝形貌的影响。实验结果表明，采用丙酮除油效果最好，对于两步氧化法，不经高温退火和电化学抛光仍能得到高 度有序的多孔阳极氧化铝膜。这样就使多孔阳极氧化铝的制各工艺得到了简化。同时还对简化预处理工艺的甄因进行 了分析。 关键词：铝，阳极氧化，多孔氧化铝，预处理 的多孔阳极氧化铝膜啪。由于阳极氧舭招膜的孔径及膜厚都 1前言 是可控的，同时又具有较好的热稳定性和化学稳定性，因此， 高纯铝在酸性或弱碱性电解液中阳极氧化时，能够形成 多孔阳极氧化铝在制备超精密分离脂P、太阳能选择吸收膜 anodic 具有特殊结构的多孔型阳极氧化铝膜(Porous 佑1、光电元件隅”、新型功能材料嘲等方面有着广泛的应用。 alumina，简记为：PAA)m。多孔阳极氧化铝的理想模型嘲 见图l。 正是由于多孔阳极氧化铝具有广阔的应用前景，对于它 的制备工艺也就成为各国学者们研究的热点。一般来说，高 纯铝在进行阳极镉化前，都必须经过高温退火、除油、除氧 化层、电化学抛光等预处理过程嚏lol。这样的预处理过程很 复杂，并且耗费大量的时间。 为了简化多孔阳极氧化铝的制备工艺，本文对铝的预处理工 艺对多孔阳极氧化铝膜的结构形貌的影响进行详细的研究， 找出主要影响因素，以期在保证得到高度有序的多孔阳极氧 化铝膜的基础上，使制备工艺得到简化。 2实验部分 2．1实验材料及试剂 纯度为99．99％以上的铝片(新疆众和铝业有限公司提 从图l可以看出，紧靠着金属铝表面是一层薄而致密的 乙醇、磷酸、草酸等试剂均为分析纯；高温退火用氩气的纯 阻挡层(Barrier layer)。在其上‘则形成较厚而疏松的多度为99．9996。 孔层(Porouslayer)。阻挡层的厚度与阳极氧化电压有关， 2．2实验方法 一般为几个至n几十个纳米，多孔层的厚度取决于氧化时间， min左右， 在阳极氧化前，将试样在丙酮中超声除油10 一般可以达到几十微米。多孔层的膜胞为六角形紧密堆积排 Na0