半导体光电探测器光谱灵敏度的测试.PDFVIP

23 2 Vol. 23 No. 2 1999 4 Journal of Nanjing University of Science and Technology Apr. 1999 X XX 刘 晖 朱日宏 朱 煜 陈进榜 ( , 210094) 对半导体光电探测器光谱灵敏度的测试原理进行分析研究, 就研制的 1 套 波长范围为014~ 111 Lm 的 用双光路替代法, 可以测试半导体光电探测器的光 谱灵敏度和量子效率的光谱灵敏度测试装置进行了分析, 该装置在测试过程中可 以减小光源不稳定性对测试结果的影响, 可以测试相对光谱灵敏度绝对光谱灵敏 度, 还分析了影响该装置测试精度的一些因素, 并给出了测试结果 绝对光谱灵敏度, 相对光谱灵敏度