射频磁控溅射沉积的ZnO薄膜的光致发光中心与漂移.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 # !$$’ ， ， ， 3RS +# 6R + A5FK !$$’ （ ） $$$?!7$=!$$’=# $ =$,%-?$’ ;MN; :BOPQM; PQ6QM; !!$$’ MK9( + :KTG + PRF + !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 射频磁控溅射沉积的!# 薄膜的 光致发光中心与漂移 李伙全 宁兆元 程珊华 江美福 （苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室，苏州 !#$$% ）