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激光纳米制造技术的应用;内容;1、引言; 纳米制造技术被认为是纳米技术的中心之一，是当前纳米科学研究的基础，为纳米科学各个领域的研究和拓展提供强有力的手段，是支撑纳米科技走向应用的基础，也是未来纳米产业的支柱。 纳米制造指所制造对象的特征尺寸至少有一个维度在1~ 100 nm 之间，包括纳米颗粒、纳米线、纳米管等纳米材料的制备，表面纳米结构的制备，以及三维纳米结构/ 器件的制造等。激光纳米制造技术展现了众多独特的优势和吸引力，是目前国际研究的热点之一。; 激光纳米制造技术的进步会促进新型纳米结构/ 器件的开发，同时，新型纳米结构/ 器件的开发又对激光纳米制造技术的进步具有重要的启发和指导意义。本文重点关注激光纳米制造技术在一些新兴领域的应用情况，主要涉及表面纳米结构和三维纳米结构/ 器件的制造，具体包括超材料、光子晶体、数据存储、生物医学、传感器以及功能表面等。;2、新兴领域中的应用;超材料;;;光子晶体;;数据存储; 相变材料是数据存储领域最有前途的材料之 一。它们已被用作可擦重写光存储介质，并且在非可变电子存储器方面也表现出很大的潜力 。 Lin 等 发展了一种相变纳米光刻技术, 用来实现二维/ 三维纳米结构的大面积和高速制备。采用这种方法，得到了半峰全宽（FWHM）为55 nm 的特征结构 。该研究小组还通过二倍频飞秒激光与近场扫描光学显微镜的组合，在紫外光刻胶旋涂薄膜上直写了特征线宽为（20 ±5） nm的光刻图案，如图6 所示。通过以上技术， 有望实现超高密度的数据存储。;生物医学;图7 经双光子聚合技术得到的流道。（a）流道尺寸随脉冲能量的变化，从左到右分别为1. 23, 0. 62, 0. 42,0. 69 和0. 93μm，（b）从左到右流道尺寸分别为110, 150 nm;传感器;图8 谐振结构的原子力显微镜测量结果。表面光栅的周期为400 nm, 高度为40 nm;功能表面;;;;总结与展望; 纳米材料所具有的小尺寸效应、表面效应、量子效应以及特殊的光学、磁学、热学、力学、化学性质，使得纳米制造表现出许多完全不同于宏观制造的理论、机理和方法。研究激光纳米制造的新原理、新方法、新技术和新工艺， 并进一步研究将激光与控制系统、运动系统、外围保护、安全系统等集成为完整的、功能强大的先进纳米制造系统,实现成套装备的智能、高效、一体化制造，用于制造新产品，甚至形成新的产业，是未来激光纳米制造领域的主要发展趋势。;谢谢！！