电子探针培训.pptVIP

例2：该样品中含有La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Dy等多种稀土元素，EDS谱峰重叠严重。 EDS谱图 波谱仪谱图的重叠程度要远好于EDS，并且EPMA定量分析时只需选择其中一条谱线。 波谱仪谱图（CH3，LiF晶体） 结论：EPMA的分辨率和峰背比都明显优于EDS！ Gd Nd Pr Dy Ce Sm La 4.2 EPMA的灵敏度优于EDS 样品：铸铁。Cr和Ni元素含量分别为0.123%和0.153%， 并且两种元素均无明显大面积偏聚。 Cr元素分布 Ni元素分布 10μm 10μm 4.2 EPMA的灵敏度优于EDS Cr含量：0.123% Ni含量：0.153% 使用实验室现有的三台EDS测试该样品，都未能测出以上元素！ 图：铸铁样品的EDS谱图（局部放大） CrKα：5.41keV Ni Kα：7.47keV Ti Ti Mn Fe Fe Fe Cu EPMA波谱仪测得的Cr、Ni两种元素的谱峰（CH4，LiFH） 结论：EPMA的灵敏度高于EDS！ Cr Ni 4.3 波谱仪和能谱仪对比表 波谱仪（EPMA） 能谱仪 探测极限 0.0X% 0.X% 分辨率 高 低 峰背比 (WDS/EDS) 高 低 线扫描及 面扫描 效果好 效果差 定量分析 准确度高 准确度低 测试实例一 该样品有明显的两相分布，理论上C元素在两相中的含量不同， 想用线扫描来验证。该学生在校内其