基于TDC的纳米级位移测量方法及其误差分析.PDFVIP

中国科学: 信息科学 2016 年 第46 卷 第11 期: 1662–1675 SCIENTIA SINICA Informationis 论 文 基于 的纳米级位移测量方法及其误差分析 * 邓露 周超 曹志强 王硕 谭民 中央财经大学统计与数学学院, 北京 100081 中国科学院自动化研究所, 北京 100190 * 通信作者. E-mail: chao.zhou@ia.ac.cn 收稿日期: 2016–04–07; 接受日期: 2016–07–01; 网络出版日期: 2016–11–04 国家自然科学基金(批准号: 和北京市自然科学基金 (批准号: 4152054) 资助项目 摘要 纳米测量技术和测量装置的不断创新与进步将带动纳米技术的快速发展. 微观操作的重要的 基础之一就是微纳尺度位移的精确的测量. 本文针对在电子扫描显微镜真空腔中工作的微纳操作机 器人的末端运动测量问题, 采用时间– 数字转换(time-digital covertor, TDC) 方法, 测量通过电阻应变 片给标准电容充电放电的时间来计算其应变量, 进而计算其位