大量程触针杠杆式轮廓仪的非线性误差分析和补偿水.PDFVIP

大量程触针杠杆式轮廓仪的非线性 误差分析和补偿水 衷颖杰 常素萍 谢铁邦 (华中科技大学机械科学-9工程学院，武汉430074) 摘要介绍了一种基于光栅干涉测量原理的大量程、高精度触针杠杆式表面形貌传感器，并对传感器在大 量程测量时的非线性误差进行了分析。测量时轮廓仪在水平和垂直方向上都会由于测杆绕固定支点的转动而产 生非线性误差，为此提出了一种对水平和垂直方向上非线性误差进行校正的新方法。通过使用大量程、高精度的 一维垂直微位移工作台和标准楔形斜块进行误差校正。最后分别给出校正前后误差曲线，并进行对比。通过分析 可知，此方法可以有效减小测量时的非线性误差，大大提高轮廓仪在进行大量程测量时的精度，从而实现大量程、 高精度测量。 关键词 计量学；触针杠杆式；非线性误差分析；误差补偿；大量程轮廓测量 do|：10．3969／j．issn．1000—0771．2012．11．002 是高精度测量中所不允许的，必须进行非线性误差 0 引言