Solgel法制备PZT铁电薄膜的退火条件研究.pdfVIP

Sol-gel法制备PZT铁电薄膜的退火条件研究 仇萍荪 丁爱丽 何夕云 罗维根 (中国科学院上海硅酸盐研究所，上海,zoooso) 摘 要 在Pt/Ti/SiO,/Si衬底上，用S.1-gel方法制 底上，用Sol-gel的Spin-coating方法制备PZT(40/ 备PZT(40/60)铁电薄膜，选择不同的后期退火温度 60)铁电薄膜，甩胶速率30007pm，时间30-50s,采用 和时间，研究其对薄膜的微结构、铁电性能的影响，建 分层甩胶和预烧结工艺，预烧结温度320C，时间 立了合适的退火条件。叶于厚度 2200人的PZT(40/ 3min，多次重复后，膜厚达到2200人，成膜后在0:气 60)铁电薄膜，剩余极化强度Pr=19.698pC/cm，可 氛 下，用快速光热炉进行后期热处理。退火温度 转向极化强度△P=32.511pC/em 500C-650C，时间分别为 1min,lomin,20min. 关键词 Sol-Rel铁电菠膜 快速退火 极化强度 3omin，采用X-ray衍射仪分析薄膜相结构，SEM 观