蓝宝石化学机械抛光及清洗技术研究现状与存在问题分析论文.pdfVIP

20 届本科毕业论文 （设计） 论文题目：蓝宝石化学机械抛光及清洗技术研究现状与 存在问题分析 学生姓名： 所在院系： 机电学院 所学专业： 机械设计制造及自动化 导师姓名： 完成时间： 20 年5 月15 日 摘 要 蓝宝石是近年来随着通讯、信息产业迅速发展而开发并产业化的新型材料。它具 有硬度高、化学稳定性好、透光性好、热传导性、电磁绝缘性、力学机械性能优良等 特点。目前，蓝宝石晶片的超光滑加工技术的研究还不够深入，实际生产中通常采用 化学机械研磨抛光技术进行加工。本论文通过对蓝宝石晶片抛光运动轨迹的理论分析 和抛光过程的实验研究，研究蓝宝石晶片抛光加工机理，探讨蓝宝石晶片化学机械研 磨、抛光工艺，系统分析主要工艺参数对晶片质量的影响。 1理论分析抛光运动的规律并进行抛光轨迹的计算机仿真，探讨抛光表面形成机 理，发现合适的抛光