一种接触式大量程表面形貌测量仪-中国机械工程.pdfVIP

一种接触式大量程表面形貌测量仪———郧建平 杨旭东 谢铁邦等 一种接触式大量程表面形貌测量仪 郧建平 杨旭东 谢铁邦 张玲玲 , , 华中科技大学 武汉 430074 : , 摘要 为了解工件加工表面的性能和监控表面形貌的形成工艺过程 需要对表面形貌进行精密的测 。 、 、 量 用带有白光光源的Linnik干涉显微镜 一个杠杆机构 共基面x-y工作台和垂直扫描工作台共同 , 、 , 组成一种接触式大量程表面形貌测量系统 该系统具有测量精度高 测量接触力小的特点 可对常用工 。 , ; 件表面进行接触式大量程的测量 测量系统的垂直测量范围为 5mm 分辨率小于 1nm x向和 向的 y , 。 水平测量范围为暲25mm 分辨率为1灡25m 毺 : ; ; ; 关键词 表面形貌 触针法 干涉显微镜 白光干涉技术 中图分类号: ; 文章编号: — ( ) — — TH741.3TH744.3暋暋暋 1004 132X200808 0909 05 AContactStlusProfilometerwithLareRane y g g YunJianin暋Yan Xudon暋XieTieban暋Zhan Linlin p g g g g g g g , , Huazhon UniversitofScienceandTechnolo Wuhan430074 g y gy : AbstractItisim ortantto reciselmeasuresurfacetoorah forstudin surface roerties p p y pg py y g p p andmonitorin thetechnoloicalrocess.Anovelcontactstlus rofilometerhadbeenconstructed, g g p y p , whichwasacombinationofalevermechanism anx- scannin staeandaLinnikmicroscoeinter灢 y g g p ferometerwithasatiall andtem orall incoherentlihtsource.Incororatin averticalscannin