分析外接电路对微梁谐振器共振特性的影响研究.pdfVIP

·475· 分析外接电路对微梁谐振器共振特性的影晌 张传立 (长fj人学机槭t穗警院．湖北荆州434023) 摘要：本文对受磁力驱动的机械微粱谐振器进行r振动分析，得到了-输出电隈2j输入电流之间的关系。据此关系，给{n_r 该机械微粱谐振器的等效电路表示。分析r外接电路对其共振特件的影响．分析结果表明，微粱谐振器的共振频率和品质 冈了叮以由外接电路的阻抗控制。 关键词：谐振器；等效电路：共振频率：品质|丈|了；外接I毡路。 1引言 采用半导体制造技术从单晶体硅片上加]：的微米级的微粱谐振器在微电子机械系统中有着广泛应用 “孔31。这种装置常被用着通讯系统中的滤波装置H’引，以及}{：J着检测电荷m1，力|7’．压力冲I和加速度∽I的 高灵敏度的传感器。这种装置能实现机械信号和电信号之间的相互转换，从其结构形态看是一机械装置 而从其功能看是一电子元件。对这种装置在机电偶合作川卜．振动的精确分析是设计这种高性能装置的基 本要求。我们当然可以剧机械振动的基本理论来对其振动特性进行分析，然而，对共振器的等效电路表 示将使我们能更好的理解整个系统的l：作：更容易分析外接电路对其特性的影响：更容易利用电路分析 的知识来分析整个系统。Co…’给出了乐电元件的等效电路表示，Tilmans…’讨论了一种机电传感器的等 效电路表示。本文根据动力分析的结果给出了受磁力驱动的机械微粱浩振器的等效电路表示，然后分析 了外接电路对其共振特性的影响。分析结果表明微梁谐振器的共振频率和品质因子随外接电路的阻抗变 化而变化。这说明我们可以通过调节外接电路来改变谐振器的共振特性。 2振动分析 考虑图l示的矩形截面梁，其长、高及宽分别为 lha。 磁场B沿着垂直梁及纸面的方向。输入电流 I。(t)通过附在梁上的导线。由予受洛伦兹力的作川， 梁将产生横向的振动。根据梁的振动理论”引．其振动 方程可表示为 等等咄学+掣暑砒㈩ 其边界条{i，I：为 ㈩ y(O,t)：掣：0，肌)：掣：0 式中E为扬氏弹性模量：p为单位长度梁的质量：B是 磁场强度：“为空气的动力粘性系数：a是空气的阻力 系数．其合理的范围为0-10¨I。 对输入电流I—Ie一，可以求出梁振动的付移为 豳l微粱l{!}振器结构永意削 y∽俨莩面Blcp,万忐抛)P』“ (3) 件竹简介：张传麓(1965)．夷．湖北人．刖教投．融t．1i蜚从啦醐体力节釉徽巍电暴缆的研宄‘E-maih chuanliz2003@126．tom) ·476· pi为梁在没有空气阻力下的同有频率：号。为空气的阻力系数。 胪譬压凡=寿岳 ㈤ 路或外接电路的阻抗为无穷人时，其输出电乐为 ‰(，)=．(艿望Ot出 (5) 将(3)式代入(5)式 ‰∽=；面lB2々o,2万‰ (6) 3等效电路表示 为了得到微梁共振器的等效电路表示，我们 把(6)式在频率区间重写为 吃M(印)=Z(co)I(oo) (7) 整个系统的阻抗可以表示为 zc咖军警万蒜 ㈩ 现在我{f】考虑如图2所示的一系列串联的 RLC趱荡电路，该电路的阻抗为 Z(妫。军古瓦万崇而@’ 图2徽粱共振器的等效哇三路表_÷ 式中R—LtC；分别为电路中的元件的电阻、 电感及电容。比较(8)及(9)两式，我们可以通 过设置电路中各元件的参数，将机械共振器与图示 电路等效。 c，=斋雕警